参展信息 - 公司将于2025年6月4-6日参展2025SEMI-e中国(深圳)国际半导体展览会，展位位于深圳国际会展中心14号馆14G22 [1][12][13] - 展会期间将重点展示172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用 [1] 新品发布 - 公司将首发自主研发的172nm MINI实验模组，专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计 [3] - 该产品采用高集成轻量化设计，机身仅相当于书本大小，打破空间与成本壁垒 [6] - 产品特点包括结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活，适配多种实验环境与制程需求 [3][6] 技术优势 - 172nm深紫外技术可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能 [4] - 该技术为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案 [4] - 相比传统准分子光辐照器，新产品解决了因高纯度N填充结构复杂导致的桌面级灵活实验难题 [6] 应用领域 - 表面有机污染物去除 [7] - 表面活化与改性 [7] - 封装工艺表面清洁处理 [7] - 超净化超微细清洗工艺验证 [7] - 平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求 [6] 产品展示 - 除新品外，公司还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品 [7] - 展品覆盖晶圆清洗、半导体基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节 [7] - 产品线包括172nm准分子系列光源和172nm准分子系列模组及设备 [8][9] 行业交流 - 公司诚邀半导体制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流 [11] - 展会提供机会共同探讨172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用及合作机会 [11]