| | | | 采 | | --- | --- | --- | --- | | 采购 | 需求概况 | 预算 | 购 | | 项目 | | 万元 | 时 | | | | | 间 | | 6自 | 拟采购的6自由度激光干涉测长系统用于工件台多自由度高精度 | | 202 | | 由度 | 位移测量及高速反馈。该6自由度激光干涉测长系统包含干涉仪 | | 5 | | 激光 | 及相关镜组、长条镜组，细分和数字化处理轴卡等。主要技术指 | | | | 干涉 | 标：X向测量范围：≥±125mm，Y向测量范围：≥±155mm，Z | 144 | 年 | | | | | 12 | | 测长 | 向测量范围：≥±1mm，RX、RY、RZ测量范围：≥300urad；分 | | 月 | | 系统 | 辨率：≤0.2nm；最大测量速度：≥300mm/s。 | | | | | | | 202 | | 高精 | | | 5 | | 度激 | 采购设备用于工件台振动测试。最大测量速度：±10m/s；振动 | 195 | 年 | | 光测 | 测量频率范围DC~100KHz 。 | | | | 振仪 | | | 12 | | | | ...