90nm ArF光刻机
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“单一来源采购”!上海微电子1.1亿中标科技部采购光刻机项目
21世纪经济报道· 2025-12-25 17:48
文章核心观点 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司中标一项金额为10999.985万元人民币的步进扫描式光刻机采购项目 型号SSC800/10为首次公开 采购方式为“单一来源采购” 表明设备可能具有技术独特性或先进性 [1][3][4] - 此次中标及相关国内技术进展 被视为中国在高端光刻机领域取得突破的信号 并迅速在资本市场引发光刻机概念股异动 [5] 根据相关目录分别进行总结 中标事件详情 - 上海微电子于12月25日中标采购项目 设备数量为一台 成交金额为10999.985万元人民币 [1] - 中标货物型号为SSC800/10 其中“SSC”为首次公开的光刻机型号代号 “SS”或代表“步进扫描式” 是当前主流精密制程光刻机的工作方案 [3] - 上海微电子隶属上海电气集团 为中国半导体装备核心企业 已于今年5月官宣实现90nm ArF光刻机量产 [1] 采购方式与项目特殊性分析 - 采购方式为“单一来源采购” 根据《政府采购法》 此方式通常用于货物或服务使用了不可替代的专利、专有技术等情况 暗示了项目的先进性 [4] - 采购主体“zycgr22011903”使用了保密代码 一般为有保密需求的特定机构或项目代称 [4] - 该主体近期在半导体领域招标了晶圆清洗机、椭偏仪、PECVD、ALE、电子束光刻机等多种设备 [4] - 上海微电子此次约1.1亿元人民币的中标金额 远高于该主体其他光刻机相关招标通常的百万或小千万级别金额 [4] 行业背景与市场影响 - 全球知名光刻机企业阿斯麦的光刻机整机价格 DUV和EUV光刻机分别在5亿元人民币和10亿元人民币以上 价格远高于上海微电子此次中标价格 [4] - 国内其他技术进展包括 哈尔滨工业大学成功研发13.5nm极紫外光刻光源 中科院上海光机所将深紫外光源系统工艺极限提升至3纳米理论值 [5] - 中标信息迅速影响资本市场 当天午后光刻机概念股异动拉升 国风新材直线涨停 华软科技、华融化学、高盟新材等概念股均有冲高表现 [5]