采购计划概览 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所发布23项仪器设备采购意向，预算总额达1.46亿元 [1][2] - 采购预计在2025年8月至11月期间进行 [2] - 采购涉及MEMS晶圆双面对准与光刻系统、高质量氧化介质薄膜制备单元、等离子去胶机、晶圆激光解键合机等关键设备 [2] 主要采购项目及预算 - 离子束修调单元采购预算金额为1800万元，为清单中最高预算项目之一 [5] - 磁控溅射PVD设备采购预算金额为1800万元 [7] - 高深宽比刻蚀单元采购预算金额为1200万元 [5] - 晶圆光刻机采购预算金额为1100万元 [7] - 硅材料外延单元采购和高厚度低阻抗金属材料制备单元采购预算均为900万元左右 [7] 研究所背景与学科方向 - 研究所学科领域为电子科学与技术、信息与通信工程 [3] - 主要学科方向包括微小卫星、无线传感网络、未来移动通信、微系统技术、信息功能材料与器件 [3] - 研究所前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是中国最早的工学研究机构之一 [2]