如果您希望可以时常见面，欢迎标星收藏哦~ 来源：内容来自 tomshardware，谢谢。 泽列诺格勒纳米技术中心 (ZNTC) 和 Planar已完成俄罗斯首台支持 350nm 级工艺技术（0.35 微 米）的光刻系统的开发。白俄罗斯 Planar 公司协助完成了这一开发。该机器已通过官方检查，正在 泽列诺格勒进行集成试验。尽管具有象征意义，但该系统的设计已经过时了几十年，ZNTC 能否批 量生产尚不清楚。 新工具 ZNTC 光刻设备于一年前正式推出，是一款基于固态激光器的 200 毫米光刻机，曝光场大小为 22 毫米 × 22 毫米（484 平方毫米）。ZNTC 和 Planar 并未透露有关该设备的关键技术细节，包括其 使用的激光器波长或激光器可发射的功率。不过，该公司表示，其使用节能的"固态"激光器，具 有"更窄"的发射范围和更长的使用寿命。 固态光源的使用似乎是一个重要的细节，它不仅将该工具与领先的晶圆厂工具制造商设计的工具区 分开来，而且还可以暗示该公司未来的计划。 考虑到 ZNTC 发布的声明相当模糊（也许是为了保密其进展及其合作伙伴的进展），研究 ASML 所谓的最知名的生产工具以了解 ZNT ...