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半导体工艺改进
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华虹半导体申请预测焦点偏移方法专利,改善工艺窗口
金融界· 2026-01-24 10:28
公司专利技术动态 - 华虹半导体制造(无锡)有限公司与华虹半导体(无锡)有限公司于2025年9月申请了一项名为“一种预测焦点偏移的方法”的专利,公开号为CN121398493A [1] - 该专利技术旨在通过分析多晶硅厚度、覆盖率及其变化值,在设计阶段预测并补偿光刻工艺中的焦点偏移量,从而改善工艺窗口 [1] 公司背景与运营数据 - 华虹半导体制造(无锡)有限公司成立于2022年,注册资本为402,000万美元,主要从事计算机、通信和其他电子设备制造业 [2] - 该公司参与招投标项目376次,拥有专利信息169条,行政许可229个 [2] - 华虹半导体(无锡)有限公司成立于2017年,注册资本为253,685.180069万美元,主要从事计算机、通信和其他电子设备制造业 [2] - 该公司对外投资了1家企业,参与招投标项目2944次,拥有专利信息1984条,行政许可117个 [2]