半导体清洗工艺
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普达特科技(00650):获得设备样机购买订单
智通财经网· 2025-10-28 20:00
订单获取情况 - 公司获得两家高质量半导体客户对12英寸单片晶圆清洗设备OCTOPUS的采购订单 [1] - 一家12英寸晶圆代工厂客户购买两台OCTOPUS设备用于28nm制程的关键清洗道次 [1] - 另一家12英寸高性能模拟与功率器件晶圆厂客户购买一台OCTOPUS设备与一台6至12英寸单片晶圆清洗设备CUBE [1] - 近期公司新增三台CUBE设备的订单均来自功率器件客户其中一台已交付至客户 [1] - 该等订单的收入暂未确认 [1] 产品技术与应用 - OCTOPUS单片晶圆清洗设备为公司自主研发对标国际龙头设备供应商应用于12英寸晶圆规模化产线 [2] - 设备覆盖Solvent、RCA、背面清洗等半导体清洗的主要工艺标配16腔或8腔 [2] - 设备通过采用化学供液系统和工艺腔室的集成化等创新设计可实现更高的产能更灵活的工艺配置与更低的成本 [2] 产业化进展与未来规划 - OCTOPUS设备前期已获得来自多个客户的订单并已成功通过验收 [2] - 未来公司将继续致力于完成该设备的订单交付与验收 [2] - 公司将充分发挥技术团队在半导体湿法技术方面的优势扩大高质量半导体客户在关键应用领域对公司的设备的采用 [2]