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步进纳米压印光刻技术
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璞璘科技交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻系统,纳米压印能力对标佳能!
半导体行业观察· 2025-08-05 09:37
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 消息称,8月1日,璞璘科技自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备顺利通过 验收并交付至国内特色工艺客户。此次设备交付是公司业务拓展和市场渗透的新里程碑,标志 着璞璘科技在高端半导体装备制造领域迈出坚实的一步。 (图片来源:璞璘科技) 技术背景 1998年,美国工程院院士、化学放大光刻胶(Chemically Amplified Resist)发明人、光刻胶领域 泰斗级学者Grant Wilson教授团队基于喷墨涂胶工艺,创新性地将紫外光固化纳米压印技术与步进光 刻 技 术 相 结 合 , 提 出 了 更 适 用 于 集 成 电 路 制 造 的 步 进 纳 米 压 印 光 刻 技 术 ( Step-and-Flash Nanoimprint Lithography),并创立Molecular Imprint Inc.公司推动该技术产业化。日本佳能公司 与Molecular Imprint Inc.建立战略合作关系后,共同开发半导体用步进纳米压印技术。2014年,佳 能完成对Molecular Imprint Inc.的收购,正式将纳米压印技术导入高 ...