环绕栅极(GAA)工艺

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一台24亿!ASML光刻机入厂!
国芯网· 2025-03-14 12:33
三星电子引入High-NA EUV光刻机 - 三星电子于3月初在华城园区引入首台ASML生产的High-NA EUV光刻机EXE:5000,价值5000亿韩元(约24.88亿元人民币)[2] - EXE:5000是全球唯一能提供此类设备的供应商,通过增大透镜和反射镜尺寸将数值孔径从0.33提升至0.55,显著提高光刻精度,是2纳米及以下制程必备工具[2] - 与现有EUV设备相比,High-NA EUV能实现更窄电路线宽,降低功耗并提升数据处理速度,三星自去年起已开始评估该设备的工艺应用[2] - 三星计划在完成设备安装后全面构建2纳米工艺生态系统,晶圆代工业务部负责人强调2纳米工艺快速量产是首要任务[2] 全球半导体巨头High-NA EUV布局 - 英特尔在2023年率先采购ASML首台High-NA EUV设备,并已签订合同购买总计6台[3] - 英特尔前两台High-NA EUV设备已投入生产,每季度可处理3万片晶圆[3] - 英特尔预计将率先获得EXE:5200设备用于其14A节点,台积电计划在2028年启动High-NA量产[3] 全球晶圆代工市场竞争格局 - 2023年第四季度三星在全球晶圆代工市场排名第二,收入环比下降1.4%至32.6亿美元,市场份额为8.1%[4] - 台积电以67%的市场份额保持全球晶圆代工市场领先地位[4]