离子注入诱导成核技术
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我国攻克半导体材料世界难题
中国基金报· 2026-01-17 12:22
半导体芯片散热技术突破 - 核心观点:西安电子科技大学团队通过创新技术,解决了芯片制造中因材料层间“岛状”连接结构导致的散热瓶颈,将界面热阻降至传统方法的三分之一,并显著提升了氮化镓微波功率器件的输出功率密度,为半导体材料高质量集成提供了“中国范式” [2] - 技术背景与问题:传统半导体芯片的晶体成核层表面凹凸不平,形成“热堵点”,严重影响散热效果,导致芯片性能下降甚至器件损坏,该问题自2014年以来一直是射频芯片功率提升的最大瓶颈 [5] - 技术创新:团队首创“离子注入诱导成核”技术,将原本随机的生长过程转变为精准可控的均匀生长,成功将粗糙的“岛状”界面转变为原子级平整的“薄膜” [2][5] - 性能提升数据:基于新技术制备的氮化镓微波功率器件,在X波段输出功率密度达42瓦/毫米,在Ka波段达20瓦/毫米,将国际纪录提升了30%至40% [5] - 应用影响:同样芯片面积下,装备探测距离可显著增加,通信基站也能覆盖更远、更节能 [5] - 成果发布:该突破性成果已发表在《自然·通讯》与《科学进展》上 [2]
性能突破性提升!我国攻克半导体材料世界难题
环球网资讯· 2026-01-16 20:40
行业技术瓶颈 - 芯片制造中不同材料层间的“岛状”连接结构长期阻碍热量传递,是器件性能提升的关键瓶颈 [1] - 传统半导体芯片的晶体成核层表面凹凸不平,严重影响散热效果,热量散不出去会形成“热堵点”,严重时导致芯片性能下降甚至器件损坏 [3] - 该问题自2014年相关成核技术获得诺贝尔奖以来一直未能彻底解决,成为射频芯片功率提升的最大瓶颈 [3] 技术突破与核心方法 - 团队通过创新技术,成功将粗糙的“岛状”界面转变为原子级平整的“薄膜” [1] - 团队首创“离子注入诱导成核”技术,将原本随机的生长过程转为精准可控的均匀生长 [3] - 新结构界面热阻仅为传统的三分之一 [3] 性能提升与应用前景 - 基于该技术制备的氮化镓微波功率器件,在X波段输出功率密度达42瓦/毫米,在Ka波段达20瓦/毫米 [3] - 该技术将国际纪录提升30%—40% [3] - 同样芯片面积下,装备探测距离可显著增加,通信基站也能覆盖更远、更节能 [3] 成果意义与影响 - 这项突破使芯片散热效率和器件性能获得突破性提升 [1] - 该成果为半导体材料高质量集成提供“中国范式” [1] - 突破性成果已发表在《自然·通讯》与《科学进展》上 [1]