公司业务 - 国林科技子公司国林半导体现有产品可满足半导体行业薄膜沉积、湿法清洗、表面处理及氧化物生成等工艺制程的臭氧应用需求 [1] 行业应用 - 臭氧在半导体行业主要应用于薄膜沉积、湿法清洗、表面处理和氧化物生成等工艺制程 [1]