纪要涉及的行业与公司 * **公司**：中微公司，一家半导体设备制造商，专注于刻蚀设备及LPCVD+ALD设备[1] * **行业**：半导体设备行业，特别是集成电路制造中的刻蚀、薄膜沉积设备领域[1][2] 财务与运营关键数据 * **2025年营业收入**约为123.85亿元，同比增长36.62%[1] * **2025年归母净利润**为21.11亿元，同比增长30.69%，其中股权投资收益为6.07亿元，同比大幅增长206.57%[1] * **2025年扣非归母净利润**为15.50亿元，同比增长11.64%[1] * **2025年研发投入**高达37.44亿元，同比增长52.65%，占营业收入比例达到30.23%[1] * **刻蚀设备销售总额**约为98.32亿元，同比增长35.12%[1] * **LPCVD+ALD设备销售总额**约为5.06亿元，同比大幅增长224.23%[1] 核心业务与技术进展 * 公司在**高深宽比刻蚀工艺**上实现了**稳定可靠的大规模量产**，适用于下一代逻辑和存储客户[1][2] * 相关高端刻蚀产品加工的**精度和重复性已达到单原子水平**[2] * 针对**先进逻辑和存储器件**制造中的关键刻蚀工艺，公司高端产品**新增付运量显著提升**[2] * 截至2025年底，公司累计已有**超过7,800个反应台**在国内外**170余条**客户芯片及LED生产线上全面量产[2] * 其中，**刻蚀设备反应台全球累计出货超过6,800台**[2] 其他重要信息 * 公司**2025年研发投入占比超3成**，旨在夯实未来发展基石[1] * 公司刻蚀工艺的**护城河持续加深**[2]