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Veeco Launches Lumina+ MOCVD System, Receives Multi Tool Order for High-Volume Production of Compound Semiconductor Products
Globenewswire· 2025-10-07 04:02
产品发布与订单信息 - Veeco Instruments Inc 推出新型Lumina+金属有机化学气相沉积系统并获得首个商业多工具订单 [1] - 全球发射服务和空间系统领导者Rocket Lab Corporation购买了该工具 作为其根据商务部《芯片与科学法案》持续项目的一部分 旨在扩大国内化合物半导体产品生产 [1] - 该大批量制造订单巩固了公司在砷化镓/磷化铟领域的领导地位 并标志着公司的一个重要里程碑 [1] Lumina+系统技术优势 - 新Lumina+系统是一个高度差异化、改变游戏规则的生产平台 能够为下一代应用实现成本效益的扩展 [2] - 该平台结合了经过验证的TurboDisc技术与突破性效率 为化合物半导体制造树立了新基准 [2] - Lumina+工具平台拥有MOCVD行业中最大的砷化镓/磷化铟批次尺寸 一流的吞吐量 最低的每片晶圆成本 以及行业领先的均匀性和重复性 [2] - 新系统为砷化镓/磷化铟外延树立了新的行业基准 使客户能够以最低的拥有成本 通过改进的工艺效率来满足其严格的性能要求 [4] 合作背景与战略意义 - Rocket Lab使用Veeco平台已超过20年 新Lumina+系统为未来多年的合作奠定了基础 [3] - 此次合作将使Rocket Lab将其空间级太阳能电池的生产能力提高一倍 同时成为国内生产的化合物半导体和电光器件技术的来源 [2] - 合作将满足对卫星太阳能日益增长的需求 并作为国内生产的半导体技术的可靠来源 [4] - 该订单是Rocket Lab根据《芯片与科学法案》扩大国内化合物半导体产品生产项目的一部分 [1] 市场应用与行业影响 - Lumina+符合化合物半导体行业对高性能、成本效益高的光电器件的路线图 将持续推动包括太阳能、消费电子、汽车、光通信和生物技术等多个行业的创新 [4] - Veeco是半导体工艺设备的创新制造商 其技术在全球先进半导体器件的制造和封装中发挥着不可或缺的作用 [5] - Rocket Lab的航天器和卫星组件已支持超过1700次任务 涵盖商业、国防和国家安全领域 [8]
ACM Research Unveils Ultra ECDP Electrochemical Deplating Tool for Compound Semiconductor Gold Etch Processes
Globenewswire· 2025-09-18 08:00
产品发布与核心技术 - 公司推出首款专为宽禁带化合物半导体制造设计的Ultra ECDP电化学去镀设备 [1] - 该设备用于晶圆图形区域外的电化学金蚀刻,能提供更高的均匀性、更小的底切和改善的金线外观 [1] - 设备提供专业工艺,包括金凸块去除、薄膜金蚀刻和深孔金去镀,并集成预湿和清洗腔室 [2] - 设备采用精确的化学液循环和先进的多阳极电化学去镀技术,实现最小化侧蚀、优异的表面光洁度及所有特征上的卓越均匀性 [2] - 设备采用模块化设计,可在单一平台内集成镀和去镀工艺,并利用多阳极技术控制不同区域的去镀 [3] - 设备提供水平全表面去镀功能,以防止加工过程中的交叉污染 [3] 市场定位与应用领域 - 化合物半导体市场在电动汽车、5G/6G通信、射频和人工智能应用的强劲需求下持续增长 [3] - 金成为这些器件的优势材料,具有高导电性、耐腐蚀性和延展性,但也带来了蚀刻和电镀挑战 [3] - Ultra ECDP工具旨在满足化合物半导体制造不断变化的需求,可适应不同衬底(如碳化硅、砷化镓、磷酸锂)的独特物理特性 [3] 产品规格与兼容性 - Ultra ECDP工具兼容6英寸和8英寸平台,支持150毫米、159毫米和200毫米晶圆尺寸 [4] - 系统可配置两个开放式片盒和一个真空机械臂,为各种制造环境提供适应性 [4]
武汉布局化合物半导体产业,千亿级创新街区初具规模
第一财经· 2025-04-23 18:53
化合物半导体产业博览会 - 2025九峰山论坛将聚焦化合物半导体领域发展 [3] - 东湖高新区成为项目集中签约地 [3] 重点项目签约 - 智汇光开展车载高压核心部件研发 [3] - 诚芯智联推进全自动标定技术研发 [3] - 埃芯半导体布局量检测设备研发及生产基地建设 [3] - 景科技开发高速COB光引擎研发生产项目 [3] - 引光联创中心项目启动 [3] - 深圳艾为电气参与产业合作 [3] - 试芯智联(武汉)科技与阅景光通讯技术(武汉)有限公司共同推进项目 [3] 注:文档1/4/5内容为乱码或无关信息,未提取有效行业数据