行业定义与功能 - 半导体废气处理设备是晶圆制造、封装测试环节的关键环保装备，通过物理、化学或生物方法将生产中的有害物质转化为无害物，确保排放合规[1][2] - 设备核心功能是处理挥发性有机物（VOCs）、酸性气体（如HF、Cl₂）、金属颗粒物等有害物质[2] 设备分类与技术 - 设备类型多样，包括活性炭吸附、催化氧化、热氧化、生物滤池、冷凝吸收及洗涤塔等，可针对性处理各类废气[1][3] - 按废气类型主要分为四类：酸性/碱性废气采用湿式洗涤塔处理，有机溶剂废气（VOCs）多使用吸附或燃烧技术且效率可达90%以上，毒性废气需先预处理再深度净化，一般排气可直接排放[3] - 毒性废气处理流程最复杂、成本最高，有机废气处理强调销毁效率，酸碱废气处理注重化学中和稳定性[3] 政策环境 - 行业获国家政策密集支持，形成从宏观指导到精准施策的完整框架，如《环保装备制造业高质量发展行动计划（2022—2025年）》等政策为行业提供清晰升级路径与广阔市场空间[1][4] 产业链结构 - 产业链上游聚焦高精度零部件与子系统供应，如轴承、传感器、真空泵等，技术壁垒高且部分依赖进口，但国内企业在中低端领域已实现突破[4] - 中游为设备制造与系统集成，核心企业包括盛剑环境、京仪装备等，国产替代加速推进[4] - 下游应用于半导体制造全流程及光伏等泛半导体领域，随着国内12英寸晶圆厂扩产及环保法规趋严，设备需求持续增长[4] 市场规模与增长 - 2024年中国半导体市场规模达13028亿元，较2020年的8848亿元增长47.2%，年复合增长率达10.5%，显著高于全球同期5.2%的增速[5] - 2024年全球半导体废气处理洗涤器市场规模约13.8亿美元，预计2025年将增长至14.6亿美元[6] - 2024年中国半导体废气处理设备市场规模约为24.26亿元，预计到2025年行业市场规模有望突破25亿元[6] 行业竞争格局 - 行业形成国际巨头与本土领先企业差异化竞争格局，爱德华兹真空、荏原及GST等跨国企业主导高端市场[6] - 以盛剑环境、京仪装备、仕净科技为代表的本土企业依托成本优势、快速响应能力及持续技术创新，在中端市场稳步拓展并逐步向高端领域渗透[6] - 行业竞争焦点正从单一设备价格转向以等离子体协同催化、AI智能运维为代表的技术突破，以及向"技术+服务"综合解决方案的商业模式转型[6] 重点企业分析 - 京仪装备 - 京仪装备是半导体工艺废气处理设备领域的领军企业，2024年其半导体专用工艺废气处理设备销量达696台，同比大幅增长74.4%[7] - 为适应市场竞争及促进技术普及，设备均价调整至46.5万元/台，同比下降14.2%，加速了行业进口替代进程[7] - 公司已形成五大技术体系，产品对多种特征污染物的处理效率超过99%，关键性能参数达到国内领先、国际先进水平[8] 行业发展趋势 - 技术向多技术融合方向发展，等离子体、膜分离、光催化氧化等技术应用广泛，定制化解决方案成为研发重点[9] - 政策端环保法规趋严与半导体产业国产化浪潮形成双重驱动，本土企业加速高端替代，行业集中度将进一步提升[10] - 智能制造与低碳发展理念推动设备向"智能型""低碳型"升级，借助物联网与AI算法实现实时监测、动态调控及故障预警[11] - 碳捕捉与资源化回收技术的研发应用成为新方向，兼顾环保效益与经济效益，推动行业从污染治理向绿色制造全链条延伸[11]