清华大学2026年大型仪器设备采购计划 - 清华大学发布多批政府采购意向，共涉及18项仪器设备采购意向，预算总额达**1.36亿元**，预计采购时间为**2026年1月** [1][2] 采购清单与预算分布 - **高价值核心设备**：电子束光刻系统预算最高，达**3000万元**；离子注入机预算**2000万元**；高密度等离子体化学气相淀积系统(HDPCVD)预算**2400万元** [4][5] - **重要工艺与沉积设备**：原子层沉积ALD系统预算**900万元**；电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)预算**300万元**；等离子体增强化学增强气相淀积(PECVD单腔)预算**270万元** [4] - **其他关键设备**：关键尺寸检测系统预算**700万元**；单片清洗机预算**840万元**；新材料刻蚀机预算**500万元**；扫描电子显微镜预算**500万元** [4][5] - **辅助与测试设备**：定向磁化真空退火系统、通用电子束蒸发台预算均为**400万元**；CMP后单片清洗设备预算**310万元**；霍尔效应测试仪预算**290万元**；宽温区四探针电学测试系统预算**260万元**；ECV/结深测试仪预算**200万元**；电镀化学镀沉积系统预算**200万元**；电化学CV测试仪预算**90万元** [4][5]