公司专利技术 - 华海清科股份有限公司申请了一项名为"一种晶圆清洗装置"的专利，公开号CN120497163A，申请日期为2022年08月 [1] - 专利技术包括槽体、支撑组件、清洗刷和清洁件，支撑组件为转动件用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转，清洁件用于喷射流体以移除颗粒物，喷射方向与晶圆旋转方向相匹配 [1] 公司基本信息 - 华海清科股份有限公司成立于2013年，位于天津市，主营业务为化学原料和化学制品制造业 [1] - 公司注册资本23672 4893万人民币 [1] - 公司对外投资了10家企业，参与招投标项目229次 [1] 公司知识产权 - 公司拥有商标信息67条，专利信息700条 [1] - 公司拥有行政许可31个 [1]