电子气体尾气回收概述 - 电子气体尾气回收是对工艺环节排放的废弃电子气体进行捕获、纯化与再利用的技术与管理过程 核心目标是将尾气转化为可再次用于生产的高纯度气体 实现资源循环利用、降低生产成本、减少环境污染的多重价值 [2] 电子气体尾气回收核心环节 - 电子气体尾气回收包括气体收集、预处理、提纯分离等核心环节 [3] 各类电子气体尾气回收特点 - 电子气体尾气回收涉及惰性/稀有气体、易燃易爆气体、剧毒/腐蚀性气体、温室效应气体四大类 不同性质气体采用回收方式差异较大 [4] - 剧毒/腐蚀性气体回收需严格密封和专业工艺 高燃爆风险气体回收需控制氧含量和温度 [4] - 市场上常见尾气回收提纯电子气体包括N₂O、氦气（He）、氩气（Ar）、氨气（NH4）、氢气（H2）、二氧化碳（CO2）等 [4] 中国电子气体尾气回收行业政策分析 - 电子气体尾气回收是集成电路、光伏等高端制造业绿色化发展的关键环节 2020年后半导体产业链自主可控驱动下政策体系加速完善 推动行业向规范化、高技术化方向转型 [6] 电子气体尾气回收行业市场规模分析 - 2024年中国电子气体尾气回收行业市场规模达51.1亿元 同比增长17.7% [1][7] - 电子气体价格昂贵 回收后可降低企业采购成本 如光伏企业通过氩气回收系统大幅减少采购量 半导体企业回收三氟化氮等温室气体可避免高额排污费并通过碳交易获利 [7] - 技术进步推动设备成本降低 如膜分离技术使氦气回收运营成本下降 提高用气企业采用尾气回收装置意愿 [7] - 电子信息制造企业与气体供应商合作开发定制化回收方案 产业链协同创新推动技术迭代和国产化替代 [7] - 集成电路制造及光伏产业产能快速扩张直接增加尾气回收设备需求 [7] - 预计2025年行业市场规模将增长至56.6亿元 韩国SK海力士通过氖气回收技术实现72.7%回收率 每年节省400亿韩元采购成本 该模式正被国内企业借鉴 [8]