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GCMS 2400气相色谱质谱平台
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越来越苛刻的半导体检测,如何破?
半导体行业观察· 2025-04-10 09:17
我们正步入一个技术迭代愈发迅速的时代。芯片制程从14nm走到7nm、5nm、3nm,再到摩尔 定律边缘的1nm节点。在半导体行业迅猛发展的今天,每一块芯片的诞生都离不开精密的制造 工艺和严苛的品质控制。无论是晶圆表面的金属杂质,还是洁净室空气中的有机污染物,任何 微小的偏差都可能导致芯片性能的下降甚至失效。 过去,传统方法如X射线荧光(XRF)、总反射XRF(TXRF)等手段在一定程度上可以满足对金属 杂质的检测需求,但当杂质浓度降到ppt(万亿分之一)甚至ppq(千亿分之一)级别,这些方法就 开始"力不从心"了。 与此同时,伴随EUV光刻、先进封装等新工艺的发展,非金属杂质(如硅、磷、硫等)以及空气中 的有机污染物(AMC)也成为影响芯片良率的"隐形杀手"。 在这样的背景下, 分析仪器领域的先锋——珀金埃尔默(PerkinElmer) ,凭借其深厚的技术底蕴 和敏锐的行业洞察, 正成为半导体检测的重要支撑力量。 从无机光谱质谱到有机色谱质谱,再到分 子光谱与材料表征,珀金埃尔默的产品线覆盖了半导体检测的方方面面。 八十年技术沉淀, 造就分析仪器的领跑者和革新者 翻开珀金埃尔默的历史,就像翻开了一部现代分析技 ...
珀金埃尔默SEMICON China 2025展会精彩回顾
半导体芯闻· 2025-04-01 18:14
以下文章来源于珀金埃尔默 ,作者珀金埃尔默 珀金埃尔默 . 帮助您更好地了解PerkinElmer公司及其产品、服务、最新应用及活动信息。 NEWS 2025年3月26日至28日, 珀金埃尔默携最新半导体技术解决方案亮相SEMICON China 2025展会(展位号:N1馆1623) 。在为期三天的展会中,我们不仅展示了行业领先的检 测分析技术,还通过线上直播与观众深度互动,共同探讨半导体全产业链的应用与发展。 以下是本次展会的精彩回顾! 展台亮点:前沿技术,全面呈现 作为分析仪器领域的领先者,珀金埃尔默在无机光谱质谱、有机色谱质谱、分子光谱及材料表 征等多个领域处于行业前沿。 在本次展会中,珀金埃尔默中国区半导体行业销售总监黄清发先生为现场及线上观众深入讲 解了 全面覆盖半导体制程的分析检测技术解决方案 。同时,他还重点推荐了 两款 明星产品 —— "NexION 5000 ICP-MS" 和 "GCMS 2400气相色谱质谱平台" ,展现了珀金埃尔默公 司在半导体检测领域的创新实力与技术优势。 △明星产品介绍 精彩不断,干货不停。本次展会,珀金埃尔默技术团队也给线上观众带来了多项新技术和各类 解决方案, ...