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MEMS冷却器
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芯片太热了,要降降温
半导体行业观察· 2026-03-22 10:42
文章核心观点 - 随着高功率芯片(如GPU)广泛采用液冷技术,原本依赖气流冷却的周边“温芯片”或“冷芯片”面临过热风险,这催生了针对局部或有限空间的“微冷却”解决方案需求[2][3][4] - 从风冷转向液冷时,必须对电路板进行整体热分析,以确保所有组件都能在规格内运行,而不仅关注主要发热芯片[4][6][7] - 针对未采用液冷但存在过热风险的芯片,存在多种替代冷却方案,包括均热板、热管、优化散热片以及新型MEMS微型风扇等[10][11][13][17] 液冷技术带来的新散热挑战 - 液冷技术能有效冷却高功率GPU等芯片,但会消除用于冷却周边芯片的气流,导致PCB板上其他芯片面临散热问题[3] - 电路板热模拟显示,当强制空气冷却(风冷)改为液冷后,未接触液冷的芯片温度可能显著升高(从蓝色变为红色)[6] - 温度是可靠性的关键指标,部件温度升高会导致热机械现象(如弯曲、断裂),最终可能损坏C4凸点等部件,引发电路失效[3] 电路板整体热分析的必要性 - 冷却分析不能只关注主要发热芯片(“热芯片”),必须考虑电路板上所有组件(“温芯片”和“冷芯片”)的散热影响[7] - 电路板上任意点的温度取决于各组件产生的热量及散热方式,组件间存在热相互作用,例如HBM内存堆叠在发热GPU旁会更难冷却[8] - 芯片的功耗(瓦特)取决于其温度,而温度又取决于功耗,这是一个相互依赖的关系,需要反复计算才能确定[9] - 购买已集成冷却装置的芯片时,用户可能只了解芯片自身的散热性能,但无法获知其散热方案对相邻组件的影响[9] 局部/微冷却替代方案 - 在缺乏强制风冷的情况下,可使用均热板和热管等替代技术进行局部散热[6][10] - 均热板利用小体积内的液体对流和相变(蒸发-冷凝)过程来有效散热[10] - 热管原理类似,它将芯片热量转移到其他地方以便更有效地散热,但无需庞大的液冷基础设施,像一个迷你版液冷装置[10] - 即使没有气流,设计良好的散热片也能通过提供更大的散热表面积来改善冷却效果[11] - 工程师可在电路板上安装小型风扇以提供额外气流,但其位置对确保组件获得充足气流至关重要[11] MEMS微型风扇技术 - 微机电系统(MEMS)单元可作为微型风扇放置在发热芯片上,其原理源自MEMS压电扬声器技术,通过驱动振膜产生气流[13][14] - MEMS风扇通过I2C指令控制,气流方向和速率(通过电压调节)可实时动态改变,例如一个方向用于冷却,相反方向用于清洁[14] - 该风扇运行频率超过40千赫兹(kHz),是人耳听阈的两倍,在3厘米处无机械噪音,气流声仅18分贝(dBA),非常安静[15] - 尺寸为9×7平方毫米,厚度1毫米,价格在5到10美元之间,最初为智能手机和AR眼镜设计,现已涉足数据中心SSD应用[17] - 该技术适用于冷却功率在15到18瓦以下的组件,具体影响取决于系统散热架构[17] - MEMS冷却器可安装在芯片上或电路板上,甚至可制成芯片级组件封装在先进封装中,但这需要将金属盖换为硅盖并配备气口[16] 主动式散热器与微冷却应用 - “主动式散热器”技术将MEMS风扇安装在散热器顶部,利用高背压使空气在狭小空间流动,从而允许使用更密集的针脚阵列来增加散热表面积[17] - 微冷却方案(如局部风扇)可帮助冷却功耗不超过20瓦的发热芯片,若功耗超过20瓦且气流不足,则可能需要降低芯片发热量[19] - 随着更多系统采用液冷及功耗水平提高,对于需要辅助散热但无需完全液冷的芯片,可能会出现更多冷却选择[19] - 无论采用何种散热方案,部署前都必须进行全面的电路板热分析[19]