Pharos 310电子束曝光机
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重大国产替代!北京首台套电子束光刻机认定
仪器信息网· 2025-10-15 16:26
文章核心观点 - 北京金竟科技自主研发的Pharos 310电子束曝光机获得北京市首台(套)重大技术装备认证,成为首款经官方认证的国产商业化电子束曝光设备[1][2] - 该产品打破了我国在微纳米加工及半导体器件制备领域长期依赖进口并屡遭禁运的局面,实现了关键高端光刻设备的国产替代和自主可控[4][5] - 公司产品已通过市场检验,在多家高校及科研机构成功应用,标志着从技术突破到产业应用的快速转化能力[7][16] 产品技术与突破 - Pharos系列电子束曝光机完成了电子束曝光工艺和设备核心部件的技术突破,多项关键技术指标达到国际一流水平[5] - 产品以电子束为核心技术,公司专注于电子束曝光机、阴极荧光检测系统等高端微纳制造设备的研发和生产[18] - 通过持续技术迭代,Pharos系列已具备稳定的商业化服务能力[15] 市场应用与认可 - 该设备在2023年8月首次实现公开中标,成为国产商业化首个标杆,并已在天津大学、北京工业大学等多所高校及科研机构成功验收并投入使用[7] - 2024年,Pharos 310在中关村论坛重点展出并引起广泛关注;2025年3月,公司总经理在该论坛发布了高精度电子束曝光机技术成果[13][15] - 公司获得国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业等称号,并荣获“创业北京”创业创新大赛总决赛一等奖等荣誉奖项[16][17] 公司背景与战略 - 北京金竟科技有限责任公司成立于2018年12月,总部位于北京,在广州、苏州等地设有分支机构,是一家拥有自主研发、技术创新和生产制造能力的高新技术企业[18] - 公司拥有多项自主知识产权的专利技术,致力于实现高端科学仪器的自主可控和国产替代[18][19] - 公司将持续响应国家“十四五”规划关于科技创新与产业升级的战略部署,加强合作以加速科技成果转化与应用[17]