文章核心观点 - 2025年10月国内刻蚀设备采购市场活跃，呈现“科研引领、国产崛起”的态势 [1][2] - 采购主体以高等院校和科研机构为主，覆盖集成电路、物联网、特种设备等多个前沿科研领域 [1] - 国产设备商表现亮眼，在多工艺领域已形成一定竞争力，市场需求预计将保持稳定增长 [1][2] 采购市场概况 - 2025年10月国内刻蚀设备采购活跃，涵盖TSV、激光、反应离子、ICP等多种刻蚀工艺 [1] - 采购主体以高等院校与科研机构为主，覆盖集成电路、物联网、特种设备等多个前沿科研领域 [1] 主要采购项目分析 - 空天信息大学（筹）采购“TSV刻蚀及沉积设备”由上海银雀电子科技发展有限公司中标，中标金额2026万元 [1][3] - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所采购“高深宽比刻蚀单元”金额达1198.1万元，为非标定制产品 [1][3] - 北京科技大学采购“8英寸超高真空原位刻蚀/蒸发镀膜系统”由Syskey提供，金额536万元 [1][3] - 西安交通大学采购北方华创等离子体刻蚀机，金额295.5万元 [3] - 福州大学采购北方华创高密度电感耦合等离子体刻蚀机，金额434.33万元 [3] - 浙江大学采购北方华创等离子刻蚀工艺分析试验台，金额1493万元 [3] 国产设备商表现 - 北方华创作为国内半导体设备龙头企业，本月接连中标西安交通大学、福州大学与浙江大学项目 [2] - 杭州浙河、中科聚微、山东创世威纳、北京芯微诺达、江苏鲁汶等国内设备商也均有斩获 [2] - 国产刻蚀设备在多工艺领域已形成一定竞争力 [2] 行业趋势展望 - 随着我国在集成电路、量子计算、物联网等前沿领域的持续投入，高端刻蚀设备的市场需求将保持稳定增长 [2] - 高端科研需求推动特种工艺设备采购，为国内设备厂商带来新一轮发展机遇 [1][2]