文章核心观点 - 2025年10月国内刻蚀设备采购市场活跃，呈现“科研引领、国产崛起”的态势 [1][2] - 采购主体以高等院校和科研机构为主，覆盖集成电路、物联网、特种设备等多个前沿科研领域 [1] - 国产设备商表现亮眼，在多工艺领域已形成一定竞争力，市场需求预计将保持稳定增长 [1][2] 采购市场概况 - 2025年10月国内刻蚀设备采购活跃，涵盖TSV、激光、反应离子、ICP等多种刻蚀工艺 [1] - 采购主体以高等院校与科研机构为主，覆盖集成电路、物联网、特种设备等多个前沿科研领域 [1] 主要采购项目分析 - 空天信息大学（筹）采购“TSV刻蚀及沉积设备”由上海银雀电子科技发展有限公司中标，中标金额2026万元 [1][3] - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所采购“高深宽比刻蚀单元”金额达1198.1万元，为非标定制产品 [1][3] - 北京科技大学采购“8英寸超高真空原位刻蚀/蒸发镀膜系统”由Syskey提供，金额536万元 [1][3] - 西安交通大学采购北方华创等离子体刻蚀机，金额295.5万元 [3] - 福州大学采购北方华创高密度电感耦合等离子体刻蚀机，金额434.33万元 [3] - 浙江大学采购北方华创等离子刻蚀工艺分析试验台，金额1493万元 [3] 国产设备商表现 - 北方华创作为国内半导体设备龙头企业，本月接连中标西安交通大学、福州大学与浙江大学项目 [2] - 杭州浙河、中科聚微、山东创世威纳、北京芯微诺达、江苏鲁汶等国内设备商也均有斩获 [2] - 国产刻蚀设备在多工艺领域已形成一定竞争力 [2] 行业趋势展望 - 随着我国在集成电路、量子计算、物联网等前沿领域的持续投入，高端刻蚀设备的市场需求将保持稳定增长 [2] - 高端科研需求推动特种工艺设备采购，为国内设备厂商带来新一轮发展机遇 [1][2]

公司业绩与业务发展 - 中微公司2024年LPCVD设备实现首台销售，全年设备销售额约1.56亿元 [1][2] - 公司近两年新开发的LPCVD和ALD薄膜设备已获得重要客户重复性订单，LPCVD累计出货量突破150个反应台 [3] - EPI设备已进入客户端量产验证阶段 [3] - 2023年ICP设备新增订单21.68亿元，同比增长139.3%，2024年新增订单41.08亿元，同比增长89.5% [5] 薄膜设备业务布局 - 公司正在全面布局薄膜设备业务，预计三到五年内该业务收入将快速增长 [1] - 薄膜设备种类包括LPCVD、PECVD、ALD、PVD、EPI、炉管CVD和镀铜等 [2] - 2022年PECVD占薄膜设备市场32%，PVD占22%，ALD占14%，LPCVD和EPI各占8% [3] - 公司策略是从MOCVD切入，逐步开发LPCVD、EPI、ALD，并开始研发PVD和PECVD设备 [3] 研发能力与效率 - 新产品开发周期从3-5年缩短至约18个月，进入市场后半年到一年可实现量产 [5] - 过去20年研发投入70%集中在刻蚀设备，近年薄膜设备研发投入比例显著提升 [5] - 公司开发设备时注重差异化设计，分析国际领先厂商优缺点，打造自主知识产权产品 [2] 长期发展战略 - 计划五到十年内覆盖60%以上半导体高端设备，成为平台式集团公司 [5] - 未来业务将覆盖刻蚀、薄膜、量检测设备及部分湿法设备 [5] - 目标从刻蚀设备龙头转型为综合性半导体设备平台企业 [1][5]