信息器件原子级制造实验装置

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共探原子级制造新路径 第789次香山科学会议在苏举行
苏州日报· 2025-08-19 08:45
原子级制造技术发展 - 第789次香山科学会议聚焦"信息器件原子级制造实验装置"关键科学技术问题 汇聚物理 化学 材料 人工智能等多领域专家 旨在推动我国原子级制造科学研究 [1] - 原子级制造是通过对原子的规模化精准操控 制造逼近理论极限性能的材料与器件的变革性技术 将成为集成电路等领域服务国家战略 形成新质生产力的新动能 [1] - 当前国内外缺乏系统性原子级制造基础设施 难以充分发挥其核心优势 信息器件原子级制造实验装置基于超高真空互联技术 解决原子级材料创制 器件加工等关键科学问题 [1] 苏州纳米真空互联实验站 - 中国科学院苏州纳米所纳米真空互联实验站(Nano-X)是全球规模最大 性能最优 共享程度最高的真空互联综合实验装置 开创了材料与器件研究新范式 [2] - 实验站已实现50余台大型设备通过227米超高真空管道互联 建成五大稳定运行模块平台 形成全真空环境综合实验装置 部分设备打破国际垄断 [2] - 实验站面向全球开放 拥有200多人团队 开展780个合作课题 服务280家用户 申请核心专利380项(授权106项) 入选江苏省重大科技基础设施培育项目 [3] 原子级制造技术应用前景 - 原子级制造通过激光 电场等工具精准控制单个原子 可让半导体芯片性能实现质的飞跃 但需要超洁净和超精准的极高真空环境 [5] - 该技术是人类从"改造材料"迈向"创造材料"的关键 可制造更薄屏幕 更快芯片 更耐用电池 并推动新能源材料 量子计算机等前沿领域突破 [5] - 中国科学院院士迟力峰表示 将聚焦提升原子操控规模化能力 强化精准控制水平 借助AI优化工艺 实现装置性能质的飞跃 [3]