合作研发项目概述 - 公司控股子公司下属公司佛山芯慧联拟牵头与国内知名高校及研究机构共同开发大世代干法刻蚀装备 [1] - 佛山芯慧联作为牵头单位拟投入自有资金2.186亿元 [1] - 合作研发项目旨在推动国产大世代刻蚀装备的产业化落地 [1] 技术基础与合作目标 - 合作旨在发挥公司研发团队在大世代刻蚀装备领域深厚的技术积累 [1] - 合作方式为与高校及科研机构深度合作 [1]

公司研发合作 - 公司控股子公司下属公司佛山芯慧联拟与国内知名高校及研究机构共同签订合作研发项目合同书，共同开发大世代干法刻蚀装备 [1] - 佛山芯慧联作为项目牵头单位，拟投入自有资金2.19亿元 [1] - 合作旨在发挥公司研发团队在大世代刻蚀装备领域的技术积累，并通过产学研合作推动国产装备产业化落地 [1] 行业技术发展 - 合作研发项目聚焦于大世代干法刻蚀装备的开发 [1] - 项目通过高校及科研机构深度合作的方式，共同推动国产大世代刻蚀装备的产业化 [1]