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臭氧在半导体行业应用
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国林科技:臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积等工艺制程
证券日报· 2025-10-27 22:27
公司业务与产品 - 国林科技子公司国林半导体现有产品可以满足半导体行业多个工艺制程的应用需求 [2] - 臭氧在半导体行业的应用主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程 [2] 行业应用 - 半导体行业是臭氧技术的重要应用领域 [2]