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高数值孔径EUV光刻技术
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1.4nm,巅峰之争
半导体行业观察· 2025-05-03 10:05
来源:内容来自 Source:编辑部,谢谢。 如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 在日前英特尔推出了A14工艺之后,两大晶圆厂巨头正式入局这个巅峰之争。从目前的资料看来,总体而言,他们在 架构、EUV光刻和晶体管设计上展开了激烈竞争。 首先看台积电,据该公司执行副总裁兼联席首席运营官Yuh-Jier Mii (米玉杰)博士介绍,当前的发展方向是从 FinFET到Nanosheet。除了这些技术之外,垂直堆叠的NFET和PFET器件(称为CFET)也可能是实现器件微缩的候选 方案。除了CFET之外,沟道材料方面也取得了突破,可以进一步实现尺寸微缩和降低功耗。上图总结了这些进展。 米博士报告称,台积电一直在积极构建硅基CFET器件,以实现更高水平的微缩。台积电在2023年IEDM上展示了其首 款栅极间距为48纳米的CFET晶体管。今年在IEDM上,台积电展示了最小的CFET反相器。下图展示了该器件在高达 1.2V电压下均衡的性能特征。 英特尔将推出的 14A 工艺节点(计划于 2027 年进行风险生产)的性能指标,宣称其功耗将降低高达 35%。英特尔还 展示了其全新的 Turbo Cell 技术,这是一种可 ...