项目概况 - 厦门路维光电高世代高精度光掩膜项目于7月5日奠基 总投资20亿元 总建筑面积5 37万平方米 将建设11条高端掩膜版产线 重点研发G8 6及以下AMOLED/LTPS用高精度光掩膜版 [1] - 项目分期实施 一期建设5条G8 6及以下AMOLED高精度掩膜版产线 配置5台核心主设备及22台精密辅助设备 达产后年产能约1500片 [2] 公司背景 - 深圳路维光电专注于高端光掩膜版研发生产 产品覆盖平板显示和半导体领域 显示掩膜版实现全世代(G2 5-G11)和全显示技术(LCD AMOLED LTPS等)覆盖 [4] - 2024年公司营收8 76亿元(同比+30 21%) 归母净利润1 91亿元(同比+28 27%) 扣非净利润1 74亿元(同比+39 56%) 2025Q1营收2 60亿元(同比+47 09%) 归母净利润4915 01万元(同比+19 66%) [4] 行业动态 - 掩膜版是显示面板图形转移核心工具 精度和稳定性直接影响面板分辨率与良率 2025年上半年多家企业推进高世代产线建设 [4] - 江苏高光第8 6代AMOLED金属掩膜版产线5月投产 预计年产G8 6代通用金属掩膜版780张 高精度金属掩膜版10万条 [4] - 清溢光电佛山高精度掩膜版生产基地4月完成首台设备搬入 项目建成后将年产25640张高精度掩膜版 [5] - 黄石全洋光电第8 6代金属掩膜版项目1月开工 总投资5亿元 整体达产后预计年产值6亿元 [5] 技术趋势 - OLED面板技术从第6代转向第8 6代 驱动掩膜版向更高精度和更复杂工艺发展 国内企业加速高世代产线建设推动技术升级 [6]

掩膜版行业现状 - 掩膜版在半导体与显示面板线路制作中起关键作用 面板领域国内企业产品集中在8 5代线及以下 欠缺超高世代线 高世代高精度LTPS AMOLED Gray-tone Half-tone掩膜等量产能力 与国际厂商存在差距 [2] - 半导体领域中国专业掩膜厂商可稳定量产90nm及以上制程BIM解决方案 仅2-3家企业具备65nm 55nm节点PSM产品开发能力 90nm以下制程仍需依赖国际第三方厂商技术合作及采购 [2] 国内主要掩膜版企业布局 - 清溢光电实现180nm节点半导体掩膜版量产 150nm节点测试认证通过 正在推进130nm-65nm节点开发 规划28nm技术路线 生产8 6代及以下高精度掩膜版 满足8寸和12寸晶圆厂需求 [3] - 路维光电覆盖G8 5代线 G10 5代线及以下产品 以IC掩膜为主 [3][4] - 华润迪思微2024年完成90nm量产 2025年达40nm量产 2026年实现28nm量产 [4] - 龙图光罩客户包括中芯集成 士兰微 积塔半导体 华虹半导体等主流厂商 [4] - 晶合集成专注高精度光刻掩膜版 可提供28-150nm半导体掩膜版服务 [4] - 睿昌半导体布局180nm到28nm产品制程 可定制化提供BIM KrF PSM ArF PSM等多种类型光掩模产品 [4] 国际厂商及合资企业动态 - 合肥丰创(Photronics旗下)支持6代线到10 5代线全系列面板掩膜产品 [5] - 美日丰创(Photronics和DNP合资)实现40nm和28nm节点量产 将引入14nm及以上节点半导体掩膜版 [5] - 冠石科技计划2025年实现45nm量产 2028年实现28nm量产 [5] 行业活动 - 势银将于2025年7月8日-10日在合肥举办第五届光刻材料产业大会 聚焦光刻材料供应链上下游深度探讨及产业协同创新 [8]