公司专利技术 - 北京北方华创微电子装备有限公司申请了一项名为"一种输出功率限值计算方法及半导体工艺设备"的专利 公开号CN119916859A 申请日期为2023年10月 [1] - 专利技术应用于加热盘 通过获取第一加热件的历史运行数据 包括历史输出功率和温度传感器检测的温度值 确定升温时所需的耗热功率 并将其作为功率下限值 [1] - 基于耗热功率计算预设升温速度下的供热功率 作为功率上限值 该技术能够避免温度大幅波动 提升温度控制稳定性 [1] 公司基本信息 - 北京北方华创微电子装备有限公司成立于2001年 位于北京市 主营业务为电气机械和器材制造业 [2] - 公司注册资本114153 708311万人民币 对外投资7家企业 参与招投标项目1028次 [2] - 公司拥有商标信息61条 专利信息5000条 行政许可340个 [2]