半导体设备采购市场概况 - 2025年8月1日至29日期间国内科研机构刻蚀设备采购总金额超千万元反映半导体设备需求增长[2][3] - 采购项目涵盖ICP电感耦合等离子体刻蚀机、低损伤刻蚀设备等高端工艺装备[3] - 中标企业包括北方华创、矢量科学和SENTECH等国内外厂商[2][3] 北方华创市场表现 - 中标中国科学院上海技术物理研究所低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备金额达366.6万元[3][4] - 中标松山湖材料实验室ICP刻蚀设备项目金额205万元[3][4] - 两款中标设备型号分别为HSE M200和GSE C200显示产品线竞争力[3] 竞争对手动态 - 矢量科学中标南京大学ICP电感耦合等离子体刻蚀机项目金额148.9万元[3][4] - SENTECH中标某单位感应耦合等离子体刻蚀机项目金额434.8万元[3][4] - 国外品牌在高端市场仍保持一定市场份额[3] 具体采购数据 - 南京大学采购矢量科学V-ICP100S型号设备1套金额148.9万元[4] - 中国科学院上海技术物理研究所采购北方华创HSE M200设备1套金额366.6万元[4] - 松山湖材料实验室采购北方华创GSE C200设备1套金额205万元[4] - 某单位采购SENTECH SJ500型号设备1套金额434.8万元[4]