公司专利技术 - 公司申请加热盘驱动装置及薄膜沉积设备专利 公开号CN120400807A 申请日期2025年4月 该技术通过旋驱升降结构实现加热盘旋转升降 提升薄膜受热均匀性和镀膜均匀性 同时具备结构简单和稳定性高的特点 [1] - 专利技术应用于薄膜沉积设备 包含腔体 加热盘及驱动装置 驱动装置采用双驱动轴同轴设计 第一驱动轴连接加热盘柄 第二驱动轴连接驱动件输出端 [1] 公司基本情况 - 公司成立于2020年 注册地位于上海市 主营业务为零售业 [2] - 企业注册资本达14.33亿元人民币 折合143253.79万人民币 [2] - 公司累计参与招投标项目21次 拥有商标信息1条 专利信息283条 行政许可29个 [2]