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半导体具身智能移动操作机器人ATS6F
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具身智能走进半导体,优艾智合全球首发三款新品
半导体行业观察· 2026-03-28 09:12
文章核心观点 - 优艾智合在SEMICON CHINA 2026展会上全球首发三款新一代半导体具身智能移动操作机器人,旨在为半导体制造行业提供覆盖全工艺链的工业物流解决方案,从效率、洁净度和连续作业能力三个维度发起“效率革命” [1][2][13] 产品发布与定位 - 公司于SEMICON CHINA 2026展会全球首发三款新一代半导体具身智能移动操作机器人:OW12-300、OW8-350、ATS6F [1] - 三款产品分别针对12寸晶圆全工艺段、8寸晶圆前道工程、跨洁净度物料转运三大核心场景 [1] - 三款产品共同构成了覆盖半导体全工艺链的工业物流解决方案 [1] 产品性能与效率提升 - OW12-300可兼容FOUP、FOSB、Metal CST等12寸晶圆制程载具,实现工艺全覆盖 [2] - OW8-350应用于半导体前道工艺,可在650mm窄道通行 [2] - OW12-300和OW8-350均实现了最快25秒以内的空满交换时间,物料对接节点作业节拍已达到与天车系统同量级 [5] - 移动操作机器人可作为OHT(空中走行式起重机)的柔性补充,有效打通厂内物流瓶颈 [5] - OW12-300搭载无线充电与双电池,OW8-350配备超大容量电池与双侧无线充电,两者均支持作业过程中同步补电 [8] - 产品支持7×24小时不间断运行,实现持续创造价值 [8] 技术创新与行业突破 - ATS6F是行业首创,专为长距离、高洁净场景设计 [10] - ATS6F配备了舱内洁净系统与自动密封技术,在万级车间内可保障物料百级洁净度,实现跨洁净度、跨区域的无界转运 [10] - 在连廊运输场景中,ATS6F省去了无尘环境建设和专用轨道投入,以更低的综合成本实现同样严格的洁净度要求 [10] - ATS6F结合物料信息管理系统,保障物料运输全流程的安全和可追溯性,让机器人与生产系统深度融合,形成数据闭环 [13] 公司市场地位与战略 - 公司是全球工业具身智能的先行者与领导者,深耕移动操作机器人赛道 [13] - 公司依托创新的“一脑多态”具身智能机器人解决方案,拓展移动操作机器人应用的深度和广度 [13] - 公司在对产品与技术有严苛要求的半导体和能源化工领域率先实现规模化应用,建立了领先优势 [13] - 相关数据显示,以2024年收入计,优艾智合在全球工业移动操作机器人领域排名第一 [13]