文章核心观点 - 近期多个单位集中发布了21项高端仪器设备采购意向，预算总额高达5.51亿元人民币，预计采购时间为2025年12月 [1] - 此次采购清单高度集中于量子计算（特别是超导量子芯片与离子阱芯片）研发与制造所需的关键工艺、检测及支撑设备，表明该领域正进入大规模、系统性的硬件投入阶段 [1][3][4] 详细采购清单分析 芯片制造核心工艺设备 - **薄膜沉积与生长系统**：预算总额达2.905亿元，是多腔体级联薄膜生长系统（1.95亿元/2套）、原子层沉积系统（1800万元/1台）、低气压等离子体增强化学气相沉积系统（1750万元/1套）及等离子体增强化学气相沉积系统（2400万元/2套）等高价值设备 [3][4] - **图形化与刻蚀设备**：包括专用深硅刻蚀机（3462万元/2台）和电子束曝光机（4139万元/1台），用于实现离子阱芯片的高深宽比三维结构刻蚀和量子结构无缺陷曝光 [3][5] - **配套工艺设备**：涉及全自动匀胶显影系统（3000万元/1套）、自动干法去胶系统（1500万元/2套）以及隔离磁控溅射镀膜机（4230万元/3台），以支持12英寸超导量子芯片的全流程自动化制造 [3][4] 精密检测与量测设备 - **形貌与尺寸量测**：采购临界尺寸扫描电子显微镜（1436万元/1套）、自动台阶仪（750万元/3台）及透明介质膜厚测试仪（400万元/2台），用于纳米级关键尺寸、薄膜厚度与台阶形貌的精确表征 [3][4] - **材料与结构分析**：采购X射线衍射系统（500万元/1套），用于超导量子芯片所用钽、铌等薄膜的晶体结构与应力精确表征 [4] 研发辅助与支撑系统 - **基础研发设备**：包括用于辅助观察检测的光学显微镜（2520万元/72台）、用于电学性能测试的源表（450万元/6台）以及泵车（136万元/8套）等 [3] - **特种气体与低温系统**：采购氦三气体2080升（5500万元），主要用于稀释制冷机的研制与生产；同时采购氦回收纯化液化系统（180万元/1套） [3][5] - **量子调控与测控系统**：涉及用于离子囚禁与量子操控的多波长激光器系统（1109万元）及用于钙离子调控的钛宝石激光器（138万元/1台） [4] - **频率参考源**：采购高性能铷钟、晶振参考源一批（158万元），为实验系统提供高精度稳定的频率参考 [4]

文章核心观点 - zycgr发布9项仪器设备采购意向，预算总额达2.14亿元，预计采购时间为2025年10月至11月 [2][3] 采购项目概况 - 采购清单涵盖9项高端仪器设备，包括原子层沉积系统、立式化学气相沉积系统(CVD)、热/电子束蒸发设备、原子力显微镜、等离子体增强化学气相沉积系统、自动化抗体蛋白系统等 [3][8][9] - 预算总额为2.14亿元，采购方代号为zycgr，代表中央政府采购平台 [2][10] 主要采购设备详情 - **自动化抗体蛋白系统（一期）**：预算18720万元，用于大规模产出高质量的抗原-抗体相互作用数据集，实现抗体蛋白实验全流程自动化 [9] - **等离子体增强化学气相沉积系统**：预算500万元，基板尺寸8英寸，温度范围350~450℃，气路不少于10路 [9][10] - **立式化学气相沉积系统(CVD)**：预算320万元，采用垂直布局设计，极限真空度10Pa，适用于半导体制造、光电器件等领域 [4][9][10] - **原子层沉积系统**：预算280万元，腔体尺寸8英寸，衬底加热温度50-500℃，薄膜沉积均匀性≤±2% [5][9] - **晶圆临时键合设备**：预算400万元，键合压力20kN，控压精度≤±2%，温度精度≤±1% [9] - **热/电子束蒸发设备**：预算250万元，腔体尺寸8英寸，极限真空≤3×10-5 Pa，最低沉积速率≤0.1Å/s [9] - **原子力显微镜**：预算275万元，YZ扫描范围≥90μm×90μm×10μm，Z方向分辨率≤0.03 nm [9] - **小试试验装置、多塔吸附评价装置设备采购项目**：预算475万元，用于科研实验 [9] - **6000m耐压型多波束测深系统采购项目**：预算190万元，包括水下接收发射换能器单元、甲板单元及安装支架等 [9]