在今年的IEEE国际电子器件会议（IEDM 2025）上，世界领先的先进半导体技术研发创新中心imec 首次成功展示了利用极紫外（EUV）光刻技术在晶圆级上制备固态纳米孔的成果。固态纳米孔正逐渐 成为分子传感领域的强大工具，但尚未实现商业化。此次概念验证是实现其低成本（大规模）生产的 关键一步。 纳米孔是蚀刻在氮化硅膜上的微小孔洞，宽度仅为几纳米。当浸入液体中并连接到电极时，单个分子 可以通过这些孔洞，产生可实时分析的电信号。由于孔径易于调节，纳米孔的应用范围十分广泛，从 病毒鉴定到DNA和蛋白质分析均可胜任。这种无需标记的单分子检测方法是下一代诊断、蛋白质组 学、基因组学乃至分子数据存储应用的关键。 公众号记得加星标⭐️，第一时间看推送不会错过。 另一方面，由脂质膜中的蛋白质形成的生物纳米孔已应用于商业测序平台，但其稳定性及集成性仍面 临挑战。固态纳米孔凭借其稳健性、可调控性和与半导体制造的兼容性克服了这些限制，使其成为可 扩展、高通量传感的理想选择。然而，在大面积范围内实现纳米级精度和均匀性的固态纳米孔仍然是 一个挑战。目前的制造方法通常速度较慢且仅限于实验室环境，这阻碍了其在传感应用中的广泛应 用。 在 ...