文章核心观点 - 深圳职业技术大学发布28项仪器设备采购意向，预算总额达1.05亿元，采购预计在2025年5月至11月进行 [2] - 采购清单涵盖多角度激光散射仪、干涉型示差检测仪、矢量网络分析仪、荧光定量热循环仪、超微量荧光定量仪、高精度光学薄膜特性分析测量设备、半导体级高性能材料制备溅射设备、半导体级温变老化测试设备、传感器与集成电路功能性检测设备、高精度定位校准设备等关键仪器 [2][8] 主要采购项目及预算 - **光刻胶高分子材料小规模制备实验设备**：预算294万元，用于光刻胶材料小规模制备验证教学，预计每年支撑280学时教学与实习 [8] - **光刻胶材料过滤干燥检测设备**：预算266万元，用于光刻胶过滤干燥工艺教学，预计每年支撑280学时 [8] - **光刻胶材料分析检测设备**：预算274万元，用于光刻胶材料性能分析检测教学，预计每年支撑280学时 [8] - **封装载板ABF压膜工艺设备**：预算1650万元，服务于《半导体制造设备基础与构造》、《集成电路关键材料及实训》等核心课程 [8] - **半导体级化学抛光设备**：预算298万元 [8] - **高精度光学薄膜特性分析测量设备**：预算174万元 [8] - **半导体级高性能材料制备溅射设备**：预算268万元 [8] - **半导体高性能激光直写设备**：预算169万元 [9] - **洁净间设备及配套设施**：预算2938万元，用于建设前后道工艺产教融合实训平台，可支撑超2000课时/年的实践教学 [9] - **半导体级温变老化测试设备**：预算215万元，与《微电子及集成电路基础》、《国产芯片创新实践》等课程紧密相关 [9] - **矢量网络分析仪及配套设备**：预算280万元，每年可支撑300课时教学，满足高频信号测试需求 [9] - **数字集成电路精密ATE设备**：预算195万元，用于满足《集成电路测试技术》、《数字集成电路设计与验证》等课程实训教学需要 [9] - **传感器与集成电路功能性检测设备**：预算299万元，包括荧光定量热循环仪、超微量荧光定量仪等，采购40支移液器以满足高频次使用需求 [9][10] - **电子电路检测设备**：预算139万元，每年可支撑300课时实训课程教学 [10] - **高精度定位校准设备**：预算129万元，用于《半导体制造设备运维》、《工艺优化与良率提升》等核心课程 [10] - **开关电源设计与测试设备**：预算280万元，用于支撑"国产芯片创新实践"课程，单个教学班预期每学期64课时 [10] - **集成电路工业级测试分选实训设备（二期）**：预算291万元，增加分选机台数并购置高性能测试机以满足第三代半导体超高压测试需求 [10] - **超高真空液体溅射机及生长源**：预算199万元，用于《集成电路制造技术》、《三维集成封装技术》等核心课程教学 [11] - **PVD集成式超高真空电气综合测量设备**：预算167万元，用于半导体电气综合性能测量教学 [11] - **多功能半导体自动匀胶及显影设备**：预算267万元，每年可支撑480课时教学 [11] - **工业控制芯片应用实训设备**：预算150万元，构建"算法开发-系统集成"全链条实践平台 [11] - **双室高真空双频PECVD**：预算180万元，用于培养学生化学气相沉积制备薄膜材料技能 [11] - **半导体级太赫兹多频段变温探针台**：预算220万元，每年可支撑250课时教学，满足射频器件高精度测试需求 [11] - **紫外光刻机**：预算470万元，每年可支撑400课时教学，是微纳加工工艺中必不可少的设备 [11] - **工业视觉实验实训设备**：预算177万元，用于机械电子工程技术和自动化技术应用本科专业教学 [12] 仪器设备功能与应用 - **干涉型示差检测仪**：基于干涉原理的高精度光学测量仪器，用于检测物体表面形貌和微小高度变化 [3] - **荧光定量热循环仪**：现代分子生物学实验室核心设备，通过实时监测PCR扩增过程中的荧光信号变化，实现对核酸分子的精确定量分析 [4] - **超微量荧光定量仪**：用于检测和定量分析微量样本中荧光信号的精密仪器 [5] - **多角度激光散射仪**：基于激光散射原理的高级分析仪器，能够直接、精确地测量溶液中化合物的绝对分子量和分子大小 [6]