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新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova™
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电子周观点:多款设备新品推出,国产化由替代向创新转变
国盛证券· 2026-03-29 18:24
报告行业投资评级 * 报告未明确给出对“电子”行业的整体投资评级,但重点覆盖的半导体设备与材料领域多家公司获得“买入”评级 [4] 报告核心观点 * 行业处于国产化由替代向创新转变的阶段,国内半导体设备与材料厂商在SEMICON China 2026展会上密集推出多款新品,产品矩阵日益完备,并在关键领域实现技术突破 [1][3][9][23] * 半导体设备方面,北方华创、中微公司、拓荆科技等公司新品发布标志着产品从单点突破向平台化、生态化演进,技术指标达到或接近国际先进水平,满足先进逻辑与存储芯片制造需求 [1][2][9][15][20] * 半导体材料方面,鼎龙股份、江丰电子、安集科技等公司在抛光垫、溅射靶材、抛光液等关键材料领域打破国外垄断,国产化进程加速,部分产品已进入全球最先进的3nm工艺制程产线 [3][23][24] 根据相关目录分别进行总结 1 半导体设备:多款新品推出,产品矩阵完备 * **北方华创**发布三款高端设备:1) 全新一代12英寸高端ICP刻蚀设备NMC612H,将ICP小尺寸刻蚀的深宽比提升到**数百比一**,均匀性达**埃米级**,并具备四大技术优势 [1][9][10];2) 12英寸D2W混合键合设备Qomola HPD30,聚焦SoC、HBM、Chiplet等3D集成应用,实现**纳米级对准精度** [1][11];3) 12英寸W2W混合键合设备Gluoner R50,可实现更高对准精度和更高质量的混合键合 [1][11] * **中微公司**推出四款新产品,包括新一代ICP刻蚀设备Primo Angnova™和高选择性刻蚀机Primo Domingo™等,进一步丰富刻蚀、薄膜沉积及核心零部件产品组合,夯实平台化发展基础 [2][15] * Primo Angnova™采用超过**200区独立温控**的静电吸盘,为**5纳米及以下**逻辑芯片及先进存储芯片制造提供ICP刻蚀解决方案 [16] * **拓荆科技**发布两款原子层沉积(ALD)新品VS-300T Astra-s SiN和PF-300T Altair TiN,其PECVD设备装机量及工艺覆盖率均达到**国内第一**,并发布全球首创的Volans 300键合空洞修复设备 [2][20] * **盛美上海**展示全系列清洗和电镀设备,其SAPS兆声波清洗技术已应用于先进制程,Ultra ECP电镀设备在铜互连等工艺中实现国产替代 [3][20] * **华海清科**展示的CMP设备Universal-300系列技术水平已达到**国际主流标准** [3][21] 2 半导体材料:关键领域持续突破,国产厂商加速替代 * **鼎龙股份**的CMP抛光垫产品在国内市场占有率持续提升,打破了由陶氏化学等美企垄断的局面 [3][23] * **江丰电子**成为全球仅有的三家进入到**3nm工艺制程**的半导体溅射靶材供应商之一,产品已打入全球最先进的半导体制造产线 [3][23] * **安集科技**发布氧化铈抛光液新品,打破日美企业在氧化铈抛光液领域的垄断,其产品已在先进制程中规模化量产 [3][24] * **沪硅产业**展示300mm大硅片、200mm特色工艺硅片及SOI片等核心产品,已成功打入全球主流晶圆厂供应链 [24][26] * **奕斯伟材料**展示轻掺抛光片、外延片等产品,已成为国内主流存储IDM厂商全球12英寸硅片供货量**第一或第二大**供应商,以及国内一线逻辑晶圆代工厂中国大陆12英寸硅片供应商**供货量首位** [25] 3 相关标的 * 报告重点提及的半导体设备公司包括:**中微公司**、**北方华创**、拓荆科技等 [27] * 报告重点提及的半导体材料公司包括:鼎龙股份、安集科技、**江丰电子**等 [27] * 报告给出具体盈利预测与评级的公司:**北方华创**(买入,预计2025年EPS为10.14元,2026年为13.05元)[4];**中微公司**(买入,预计2025年EPS为3.60元,2026年为5.52元)[4]