行业概述 - 等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统 主要由等离子体射频电源和匹配器组成 工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间 核心作用是通过产生高频电场在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离 创造并维持高活性、高能量的等离子体 并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺 [2] - 等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等 对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率 以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要 进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率 在半导体制造核心装备中占据着核心位置 [2] - 行业属于"半导体器件专用设备制造" 行业代码为"C3562" [5] 市场规模 - 2024年全球等离子体射频电源系统行业市场规模达55.0亿美元 同比增长10.22% [10] - 2024年中国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元 同比增长9.50% [1][10] - 未来随着半导体制程的不断演进 薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺复杂度与精细度不断提升 对等离子体射频电源系统技术指标要求越来越高 形成新的技术升级驱动力 [10] 行业壁垒 - 半导体设备核心零部件行业技术壁垒很高 等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件 技术要求极高 [3] - 半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程 且在设备定型后不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统 [3] - 半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商 [3] 政策环境 - 我国高度重视半导体等核心产业发展 相继出台《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》《产业结构调整指导目录（2024年本）》《关于加快数字经济高质量发展的意见》等一系列政策 大力推动等离子体射频电源系统行业进步 [5] 产业链分析 - 行业上游主要包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件供应商 功率模块等电气件供应商以及结构件等原材料供应商 [5] - 原材料成本占比最大 超70% [7] - 行业下游应用市场涵盖半导体、光伏、显示面板等诸多领域 其中半导体为最大需求市场 占比超50% [5][8] 下游需求 - 2023年我国半导体设备市场规模达366亿美元 占全球半导体设备市场整体规模的34.56% [8] - 2024年我国半导体设备市场规模有望突破450亿美元 市场占比有望突破40% [8] - 等离子体射频电源系统作为半导体设备的电气类核心零部件 随着半导体设备市场的持续繁荣将迎来更广阔的发展空间 [8] 竞争格局 - 等离子体射频电源系统市场呈现高度集中的竞争格局 主要由美国的MKS、AE等国际巨头主导 [11] - 国产化率较低 是我国半导体设备零部件国产化最难关卡之一 [11] - 国内企业加速追赶 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业 其产品能支撑14纳米先进制程 [11] 代表企业 - 四川英杰电气股份有限公司重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术 部分型号射频电源已实现量产 覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程 2024年营业总收入达17.80亿元 毛利润6.86亿元 毛利率为3.85% [13] - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵 自研产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等 [13] 发展趋势 - 国内半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫 对国产等离子体射频电源系统导入意愿空前强烈 [15] - 国产供应商已经取得了技术沉淀和产品迭代的成果 并且逐步通过了半导体设备商和晶圆厂的产品与技术验证 [15] - 未来伴随中国大陆半导体市场的快速发展以及国产替代的整体趋势 国产等离子体射频电源系统的市场份额会持续扩大 [15]