行业概述 - 等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统 主要由等离子体射频电源和匹配器组成 工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间 核心作用是通过产生高频电场在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离 创造并维持高活性、高能量的等离子体 并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺 [2] - 等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等 对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率 以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要 进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率 在半导体制造核心装备中占据着核心位置 [2] - 行业属于"半导体器件专用设备制造" 行业代码为"C3562" [5] 市场规模 - 2024年全球等离子体射频电源系统行业市场规模达55.0亿美元 同比增长10.22% [10] - 2024年中国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元 同比增长9.50% [1][10] - 未来随着半导体制程的不断演进 薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺复杂度与精细度不断提升 对等离子体射频电源系统技术指标要求越来越高 形成新的技术升级驱动力 [10] 行业壁垒 - 半导体设备核心零部件行业技术壁垒很高 等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件 技术要求极高 [3] - 半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程 且在设备定型后不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统 [3] - 半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商 [3] 政策环境 - 我国高度重视半导体等核心产业发展 相继出台《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》《产业结构调整指导目录（2024年本）》《关于加快数字经济高质量发展的意见》等一系列政策 大力推动等离子体射频电源系统行业进步 [5] 产业链分析 - 行业上游主要包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件供应商 功率模块等电气件供应商以及结构件等原材料供应商 [5] - 原材料成本占比最大 超70% [7] - 行业下游应用市场涵盖半导体、光伏、显示面板等诸多领域 其中半导体为最大需求市场 占比超50% [5][8] 下游需求 - 2023年我国半导体设备市场规模达366亿美元 占全球半导体设备市场整体规模的34.56% [8] - 2024年我国半导体设备市场规模有望突破450亿美元 市场占比有望突破40% [8] - 等离子体射频电源系统作为半导体设备的电气类核心零部件 随着半导体设备市场的持续繁荣将迎来更广阔的发展空间 [8] 竞争格局 - 等离子体射频电源系统市场呈现高度集中的竞争格局 主要由美国的MKS、AE等国际巨头主导 [11] - 国产化率较低 是我国半导体设备零部件国产化最难关卡之一 [11] - 国内企业加速追赶 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业 其产品能支撑14纳米先进制程 [11] 代表企业 - 四川英杰电气股份有限公司重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术 部分型号射频电源已实现量产 覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程 2024年营业总收入达17.80亿元 毛利润6.86亿元 毛利率为3.85% [13] - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵 自研产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等 [13] 发展趋势 - 国内半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫 对国产等离子体射频电源系统导入意愿空前强烈 [15] - 国产供应商已经取得了技术沉淀和产品迭代的成果 并且逐步通过了半导体设备商和晶圆厂的产品与技术验证 [15] - 未来伴随中国大陆半导体市场的快速发展以及国产替代的整体趋势 国产等离子体射频电源系统的市场份额会持续扩大 [15]

核心观点 - 公司2025年上半年业绩表现强劲，营业收入同比增长67.86%至3.07亿元，净利润同比增长91.56%至7600.55万元，主要受益于半导体封装测试设备需求回暖及三温测试分选机、大平台超多工位测试分选机销量提升 [2][12] - 公司持续加大研发投入和市场拓展力度，新产品平台在多领域推进验证，并通过对外投资布局半导体设备产业链关键技术方向，增强综合竞争力 [13] - 公司核心技术指标达到国际先进水平，产品覆盖全球主要半导体市场，客户集中度较高（前五大客户收入占比65.36%），但通过深度定制化开发和高客户粘性构建壁垒 [12][14][18] 财务表现 - 营业收入3.07亿元，同比增长67.86%，主要因测试分选机产品销量增长 [2][12] - 营业成本1.49亿元，同比增长57.58%，与收入增长匹配 [16] - 归属于上市公司股东的净利润7600.55万元，同比增长91.56% [2] - 扣除股份支付影响后的净利润8347.62万元，同比增长108.10% [3] - 经营活动现金流量净额1657.67万元，同比由负转正（上年同期为-265.10万元），因销售商品收到现金增加 [2][16] - 基本每股收益1.32元/股，同比增长94.12% [3] 业务与行业 - 公司主营集成电路测试分选机，属于半导体专用设备制造业（行业代码C3562），应用于集成电路后道封装测试环节 [4][6] - 行业受新能源、电动汽车、AI等下游需求推动，测试分选设备向高效率、高稳定性、柔性化方向发展 [7] - 产品系列包括EXCEED-6000/8000/9000、SUMMIT、COLLIE等，满足消费电子、汽车电子、AI等多领域测试需求 [8][11] - 采用"以销定产"和"安全库存"生产模式，销售以直销为主，代理为辅，覆盖中国大陆、中国台湾、东南亚、欧美等全球市场 [10] 研发与投资 - 研发费用2205.97万元，同比增长14.02% [16] - 新产品平台在MEMS、碳化硅、IGBT、先进封装等领域推进客户验证 [13] - 对外投资5家产业链公司：华芯智能（晶圆级分选）、猎奇智能（固晶机/测试设备）、芯诣电子（老化测试设备）、鑫益邦（贴片机）、瑞玛思特（射频测试） [13] - 募投项目"半导体测试设备智能制造及创新研发中心一期"有序推进，将提升研发制造能力 [12][13] 资产与运营 - 总资产17.90亿元，较上年末增长11.96%；净资产14.18亿元，较上年末增长7.77% [2] - 货币资金2.54亿元，较上年末减少52.35%，因募投项目支付及理财产品增加 [16] - 应收账款4.71亿元，较上年末增长37.72%，因收入规模扩大 [16] - 在建工程1.55亿元，较上年末增长39.47%，因研发中心项目建设 [16] - 马来西亚生产运营中心启用，增强全球化服务能力 [13]

政策支持与行业融资 - 支持生物医药创新型企业通过创业板、科创板、北交所上市及新三板挂牌融资 [1] - 鼓励产业投资基金、创业投资基金发起成立生物医药产业投资子基金 [1] - 支持生物医药产业园项目发行基础设施REITs和不动产信托资产支持票据 [1] 高技术制造业利润增长 - 7月高技术制造业利润由6月下降0.9%转为增长18.9% [1] - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9% [1] - 集成电路制造、半导体器件专用设备制造、半导体分立器件制造利润分别增长176.1%、104.5%、27.1% [1] 生物医药行业表现 - 生物药品制造行业利润增长36.3% [1] - 化学药品制剂制造行业利润增长6.9% [1] - 建立市场化生物医药领域研发攻关风险保险补偿机制 [1] 创业板指数及成分股表现 - 创业板指数上涨1.34% [3] - 成分股天孚通信上涨20%、捷佳伟创上涨18.18%、胜宏科技上涨13.44% [3] - 新易盛、中际旭创等个股跟涨 [3] 创业板ETF产品表现 - 创业板ETF平安上涨1.36%报1.79元 [3] - 近1周累计上涨4.62%排名可比基金2/16 [3] - 近1年日均成交1178.95万元 [3] 创业板ETF收益能力 - 近3年净值上涨7.34%居可比基金前2 [3] - 成立以来最高单月回报37.37% [3] - 年盈利百分比60% [3] 创业板ETF风险指标 - 近1年夏普比率1.59 [4] - 近半年相对基准回撤0.07% [4] - 回撤后修复天数99天 [4] 创业板ETF运营特性 - 管理费率0.15%托管费率0.05%为可比基金最低 [4] - 近3月跟踪误差0.017% [4] - 紧密跟踪创业板指数反映市场运行情况 [4] 创业板指数权重构成 - 前十大权重股包括宁德时代、东方财富、中际旭创等 [4][5] - 前十大权重股合计占比52.52% [5] - 指数由市值大流动性好的100只创业板股票组成 [4]

工业整体盈利恢复 - 规模以上工业企业营业收入7月同比增长0.9% 1月至7月累计增长2.3% [1] - 制造业利润7月同比增长6.8% 较6月增速提升5.4个百分点 [1] 高技术制造业表现突出 - 高技术制造业利润增长18.9% 发挥明显引领作用 [1] - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9% [1] - 集成电路制造利润增长176.1% 半导体器件专用设备制造增长104.5% 半导体分立器件制造增长27.1% [1] 企业类型差异分析 - 私营企业7月利润增长2.6% 高于规模以上工业企业平均水平4.1个百分点 [1] - 中小型企业利润改善明显 [1]

工业整体效益 - 7月规模以上工业企业营业收入同比增长0.9% [1] - 1至7月全国规模以上工业企业利润总额达40203.5亿元 [1] - 工业生产稳定增长与物价回升政策推动企业盈利持续恢复 [1] 制造业利润表现 - 7月制造业利润同比增长6.8% 较6月增速提升5.4个百分点 [1] - 制造业利润增长拉动全部规模以上工业企业利润增速较6月加快3.6个百分点 [1] 高技术制造业引领作用 - 高技术制造业拉动全部规模以上工业企业利润增速较6月加快2.9个百分点 [1] - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9% [1] - 集成电路制造利润增长176.1% 半导体器件专用设备制造利润增长104.5% 半导体分立器件制造利润增长27.1% [1] - 生物药品制造利润增长36.3% 化学药品制剂制造利润增长6.9% [1] 设备更新政策带动行业 - 电子和电工机械专用设备制造利润同比增长87.9% [2] - 通用零部件制造利润增长15.3% [2] - 食品饮料烟草及饲料生产专用设备制造利润增长11.3% [2] 消费品以旧换新政策效应 - 计算机整机制造利润增长124.2% [2] - 智能无人飞行器制造利润增长100.0% [2] - 家用清洁卫生电器具制造利润增长29.7% [2] - 计算机外围设备制造利润增长57.0% 敏感元件及传感器制造利润增长51.9% [2]

工业企业利润总体改善 - 7月规模以上工业企业利润同比下降1.5% 降幅较6月收窄2.8个百分点 连续两个月收窄 [1] - 1-7月工业企业利润总额40203.5亿元 同比下降1.7% 降幅较上半年收窄0.1个百分点 [1] - 7月企业毛利润由6月下降1.3%转为增长0.1% 营业收入同比增长0.9% [4] 制造业利润结构性增长 - 7月制造业利润同比增长6.8% 增速较6月加快5.4个百分点 拉动规上工业利润增速加快3.6个百分点 [4] - 原材料制造业利润由6月下降5.0%转为增长36.9% 钢铁行业实现利润180.9亿元 石油加工行业实现利润34.6亿元 同比扭亏为盈 [5] - 高技术制造业利润由6月下降0.9%转为增长18.9% 拉动规上工业利润增速加快2.9个百分点 [5] 高端装备与半导体行业表现突出 - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9% [5] - 集成电路制造利润增长176.1% 半导体器件专用设备制造增长104.5% 半导体分立器件制造增长27.1% [5] "两新"政策带动相关行业增长 - 电子和电工机械专用设备制造利润增长87.9% 通用零部件制造增长15.3% 食品饮料烟草及饲料生产专用设备制造增长11.3% [5] - 计算机整机制造利润增长124.2% 智能无人飞行器制造增长100.0% 家用清洁卫生电器具制造增长29.7% [6] - 计算机外围设备制造利润增长57.0% 敏感元件及传感器制造增长51.9% [6] 中小企业盈利状况改善 - 7月中型企业利润由6月下降7.8%转为增长1.8% 小型企业由下降9.7%转为增长0.5% [7] - 私营企业利润增长2.6% 高于规上工业企业平均水平4.1个百分点 [7] - 7月末应收账款26.84万亿元 同比增长6.8% 增速较3月以来连续5个月降速 [9][10] 库存与资金效率优化 - 7月末产成品存货6.67万亿元 同比增长2.4% 较1-6月回落0.7个百分点 连续四个月回落 [9][10] - 7月库销比为59.1% 较前值回升4.1个百分点 显示库存加快消化 [10] 政策支持与产业导向 - 工信部将实施十大重点行业稳增长工作方案 包括钢铁、有色金属、石化、建材等行业 [12] - 加快发展生物制造、低空产业 推动人形机器人、元宇宙、脑机接口等未来产业创新 [12] - 推进设立国家中小企业发展基金二期 落实《保障中小企业款项支付条例》 [13]

整体利润表现 - 7月规模以上工业企业利润同比下降1.5% 降幅较6月收窄2.8个百分点 连续两个月收窄 [1][2] - 1-7月规模以上工业企业利润总额40203.5亿元 同比下降1.7% 降幅较上半年收窄0.1个百分点 [2] - 7月企业毛利润由6月下降1.3%转为增长0.1% [2] 营业收入与成本 - 7月规模以上工业企业营业收入同比增长0.9% 1-7月累计增长2.3% [2] - 工业生产稳定增长与物价回升政策推动企业盈利水平恢复 [2] 制造业板块表现 - 7月制造业利润同比增长6.8% 增速较6月加快5.4个百分点 拉动规上工业利润增速加快3.6个百分点 [3] - 原材料制造业利润由6月下降5.0%转为增长36.9% 其中钢铁行业实现利润180.9亿元 石油加工行业实现利润34.6亿元 [3] - 消费品制造业利润下降4.7% 降幅较6月收窄3.0个百分点 [3] 高技术制造业表现 - 高技术制造业利润由6月下降0.9%转为增长18.9% 拉动规上工业利润增速加快2.9个百分点 [1][3] - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9% [3] - 集成电路制造利润增长176.1% 半导体器件专用设备制造增长104.5% 半导体分立器件制造增长27.1% [3] - 生物药品制造利润增长36.3% 化学药品制剂制造增长6.9% [3] 企业规模与类型 - 中型企业利润由6月下降7.8%转为增长1.8% 小型企业由下降9.7%转为增长0.5% [2] - 私营企业7月利润增长2.6% 高于规上工业企业平均水平4.1个百分点 [2] 政策驱动行业 - 电子和电工机械专用设备制造利润增长87.9% 通用零部件制造增长15.3% 食品饮料烟草及饲料生产专用设备制造增长11.3% [4] - 计算机整机制造利润增长124.2% 智能无人飞行器制造增长100.0% 家用清洁卫生电器具制造增长29.7% [4] - 计算机外围设备制造利润增长57.0% 敏感元件及传感器制造增长51.9% [4]

核心观点 - 7月份规模以上工业企业盈利水平持续恢复 利润降幅连续收窄 营业收入保持增长[1] - 制造业利润较快增长 其中原材料制造业和消费品制造业均呈现改善态势[2] - 高技术制造业利润快速增长 多个细分领域实现三位数增长[2] - "两新"政策带动相关设备制造和消费产业链利润显著提升[3] - 中小型企业和私营企业利润改善明显 增速高于全国平均水平[3] 工业企业整体效益 - 7月份规模以上工业企业营业收入同比增长0.9% 1-7月份累计增长2.3%[1] - 7月份利润同比下降1.5% 降幅较6月份收窄2.8个百分点 连续两个月收窄[1] - 1-7月份利润降幅较上半年收窄0.1个百分点[1] - 7月份企业毛利润由6月份下降1.3%转为增长0.1%[1] 制造业表现 - 7月份制造业利润同比增长6.8% 增速较6月份加快5.4个百分点[2] - 制造业拉动全部规模以上工业企业利润增速较6月份加快3.6个百分点[2] - 原材料制造业利润由6月份下降5.0%转为增长36.9%[2] - 钢铁行业实现利润总额180.9亿元 石油加工行业实现34.6亿元 同比均扭亏为盈[2] - 消费品制造业下降4.7% 降幅较6月份收窄3.0个百分点[2] 高技术制造业 - 7月份高技术制造业利润由6月份下降0.9%转为增长18.9%[2] - 高技术制造业拉动全部规模以上工业企业利润增速较6月份加快2.9个百分点[2] - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9%[2] - 集成电路制造业利润增长176.1% 半导体器件专用设备制造业增长104.5% 半导体分立器件制造业增长27.1%[2] - 生物药品制造业利润增长36.3% 化学药品制剂制造业增长6.9%[2] 政策驱动行业 - 电子和电工机械专用设备制造业利润增长87.9% 通用零部件制造业增长15.3% 食品饮料烟草及饲料生产专用设备制造业增长11.3%[3] - 计算机整机制造业利润增长124.2% 智能无人飞行器制造业增长100.0% 家用清洁卫生电器具制造业增长29.7%[3] - 计算机外围设备制造业利润增长57.0% 敏感元件及传感器制造业增长51.9%[3] 企业规模类型 - 7月份规模以上工业中型企业利润由6月份下降7.8%转为增长1.8%[3] - 小型企业利润由6月份下降9.7%转为增长0.5%[3] - 私营企业当月利润增长2.6% 高于全部规模以上工业企业平均水平4.1个百分点[3]

工业生产与利润增长 - 规模以上工业生产保持稳定增长并促进物价水平合理回升 [1] - 系列政策落地实施带动企业盈利水平持续恢复 [1] - 高技术制造业利润由6月下降0.9%转为增长18.9% [1] - 高技术制造业拉动全部规模以上工业企业利润增速较6月加快2.9个百分点 [1] 高技术制造业细分领域表现 - 航空航天器及设备制造行业利润增长40.9% [1] - 集成电路制造业利润增长176.1% [1] - 半导体器件专用设备制造业利润增长104.5% [1] - 半导体分立器件制造业利润增长27.1% [1] - 生物药品制造业利润增长36.3% [1] - 化学药品制剂制造业利润增长6.9% [1]

公司基本情况 - 公司全称为深圳中科飞测科技股份有限公司，股票简称中科飞测，股票代码688361，于2023年5月19日在上海证券交易所科创板上市 [13] - 公司总股本为32,159.1809万股，注册地址位于深圳市龙华区观澜街道，主营业务为研发、设计和销售高端半导体质量控制设备及智能软件产品 [13] - 控股股东为苏州翌流明（直接持股11.75%），实际控制人为陈鲁、哈承姝夫妇，合计控制公司22.91%股份 [14] 行业地位与竞争格局 - 公司专注于高端半导体质量控制设备领域，产品覆盖检测与量测两大环节，属于专用设备制造业下的半导体器件专用设备制造 [14][15] - 2023年全球半导体设备销售额为1,062.5亿美元，预计2024年增长6.5%至1,130亿美元，2025年达1,210亿美元 [20] - 中国大陆半导体检测与量测设备市场规模2023年达43.60亿美元，2019-2023年复合增长率26.7% [26] - 市场竞争由国外企业垄断，科磊半导体占比64.29%，前五大国外厂商合计占84.52%；公司市占率从2021年1.91%提升至2023年2.89%，处于国内领先地位 [26][27] 产品与技术布局 - 核心产品包括九大系列设备（七大系列已量产、两大系列在验证）和三大智能软件系统，覆盖前道制程、先进封装、化合物半导体等领域 [30][31][33] - 关键技术包括深紫外成像扫描、高精度干涉量测、缺陷识别算法等，截至2025年6月30日拥有境内外授权专利超600项（发明专利超200项） [38] - 研发团队规模达577人，2025年1-6月研发费用2.85亿元，占营收比重40.65% [41] 经营业绩与财务表现 - 2025年1-6月营业收入7.02亿元，同比增长51.39%；毛利率54.31%，同比提升8.08个百分点 [41] - 归属于上市公司股东的净利润亏损1,835.43万元，较去年同期收窄4,966.03万元，主要因研发投入及股份支付费用增加（股份支付费用4,855.47万元，同比增62.68%） [41] - 报告期末应收账款账面价值2.72亿元，存货账面价值22.70亿元 [8][9] 发展战略与募集资金用途 - 本次向特定对象发行股票募资不超过25亿元，发行数量不超过总股本30%（即96,477,542股），发行价格不低于定价基准日前20个交易日股价均价的80% [2][3] - 募集资金拟投入项目包括上海高端半导体质量控制设备产业化项目（拟投资8.46亿元）、研发测试及产业化项目（拟投资6.35亿元）、研发测试中心项目（拟投资4.46亿元），总投资额28.52亿元 [5] - 公司未来战略聚焦技术突破与产品迭代，推动检测与量测设备国产化，覆盖更先进工艺节点 [35][36] 政策与行业环境 - 行业受国家政策强力支持，包括《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》《智能检测装备产业发展行动计划》等，明确将半导体质量控制设备列为重点发展领域 [16] - 半导体产业链向中国大陆转移，下游晶圆厂产能持续扩张，2024年中国大陆半导体设备销售额预计达347亿美元，占全球首位 [22][23] - 行业技术趋势向更精密工艺发展，14nm及以下节点工艺步骤近千道，单工序良品率需超99.99%以保障最终良品率，驱动检测/量测设备需求倍增 [25]