行业概述 - 等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统 主要由等离子体射频电源和匹配器组成 工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间 核心作用是通过产生高频电场在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离 创造并维持高活性、高能量的等离子体 并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺 [2] - 等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等 对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率 以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要 进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率 在半导体制造核心装备中占据着核心位置 [2] - 行业属于"半导体器件专用设备制造" 行业代码为"C3562" [5] 市场规模 - 2024年全球等离子体射频电源系统行业市场规模达55.0亿美元 同比增长10.22% [10] - 2024年中国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元 同比增长9.50% [1][10] - 未来随着半导体制程的不断演进 薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺复杂度与精细度不断提升 对等离子体射频电源系统技术指标要求越来越高 形成新的技术升级驱动力 [10] 行业壁垒 - 半导体设备核心零部件行业技术壁垒很高 等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件 技术要求极高 [3] - 半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程 且在设备定型后不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统 [3] - 半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商 [3] 政策环境 - 我国高度重视半导体等核心产业发展 相继出台《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》《产业结构调整指导目录（2024年本）》《关于加快数字经济高质量发展的意见》等一系列政策 大力推动等离子体射频电源系统行业进步 [5] 产业链分析 - 行业上游主要包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件供应商 功率模块等电气件供应商以及结构件等原材料供应商 [5] - 原材料成本占比最大 超70% [7] - 行业下游应用市场涵盖半导体、光伏、显示面板等诸多领域 其中半导体为最大需求市场 占比超50% [5][8] 下游需求 - 2023年我国半导体设备市场规模达366亿美元 占全球半导体设备市场整体规模的34.56% [8] - 2024年我国半导体设备市场规模有望突破450亿美元 市场占比有望突破40% [8] - 等离子体射频电源系统作为半导体设备的电气类核心零部件 随着半导体设备市场的持续繁荣将迎来更广阔的发展空间 [8] 竞争格局 - 等离子体射频电源系统市场呈现高度集中的竞争格局 主要由美国的MKS、AE等国际巨头主导 [11] - 国产化率较低 是我国半导体设备零部件国产化最难关卡之一 [11] - 国内企业加速追赶 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业 其产品能支撑14纳米先进制程 [11] 代表企业 - 四川英杰电气股份有限公司重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术 部分型号射频电源已实现量产 覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程 2024年营业总收入达17.80亿元 毛利润6.86亿元 毛利率为3.85% [13] - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵 自研产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等 [13] 发展趋势 - 国内半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫 对国产等离子体射频电源系统导入意愿空前强烈 [15] - 国产供应商已经取得了技术沉淀和产品迭代的成果 并且逐步通过了半导体设备商和晶圆厂的产品与技术验证 [15] - 未来伴随中国大陆半导体市场的快速发展以及国产替代的整体趋势 国产等离子体射频电源系统的市场份额会持续扩大 [15]

深圳IPO排队企业概况 - 16家深圳企业正在排队冲刺A股IPO 其中15家进入问询阶段 北芯生命已提交注册 [1][2] - 按交易所分布：深交所主板2家 创业板4家 上交所科创板3家 北交所7家 [2] - 企业均属战略性新兴产业 涵盖半导体显示、医疗器械、数控机床、半导体设备、数据存储等领域 [2][4][6][7] 重点企业财务与业务数据 - 惠科股份总资产超1000亿元 2024年营业收入403.1亿元 归母净利润33.39亿元 85英寸LCD电视面板出货面积全球第一 [2] - 恒运昌2022-2024年营业收入复合增长率84.91% 扣非归母净利润复合增长率156.72% 主营半导体等离子体射频电源系统 [4] - 北芯生命2024年营业收入达3.17亿元（2022年为9245万元） 是国内首家拥有血管内FFR及IVUS产品组合的国产企业 [7] - 大普微近三年研发投入占累计营业收入比例达36.15% 从事企业级固态硬盘研发销售 拥有自主主控芯片技术 [6][7] 研发投入与技术优势 - 钶锐锶近三年累计研发费用6153.44万元 持有247项专利及79项软件著作权 采用全直驱数控技术路线 [6][8] - 北芯生命研发投入占营业收入比例高达65.5% [6] - 申请创业板与科创板的企业毛利率普遍达40%-60% 通过技术壁垒构建竞争护城河 [6] 资本市场改革与企业融资需求 - 科创板启用第五套上市标准（未盈利企业） 创业板启用第三套标准 支持优质未盈利创新企业上市 [7] - 企业IPO募资主要用于研发投入、产线布局、产能扩充及海外市场拓展 [2][4] - 深圳现有425家A股上市公司中 科创板与创业板企业占比超50% 位居全国第一 [5]

深圳企业IPO概况 - 截至8月15日共有16家深圳企业排队冲刺A股IPO 若上市有望加速产业发展[3] - 15家企业已进入问询阶段 北芯生命提交注册 接近上市[4] - 企业均属战略性新兴产业 通过IPO融资扩充产能或拓展海外市场[4][6] 目标资本市场分布 - 6家企业拟冲刺深交所IPO 其中主板2家 创业板4家[4] - 3家企业拟冲刺上交所科创板 7家企业选择北交所[4] - 资本市场改革增强对高科技企业吸引力 打通不同成长阶段企业融资渠道[4] 重点企业财务与业务特征 - 惠科股份总资产超1000亿元 2024年营业收入403.1亿元 归母净利润33.39亿元 85英寸LCD电视面板出货面积全球第一[4] - 恒运昌2022-2024年营业收入复合增长率84.91% 扣非归母净利润复合增长率156.72% 主营半导体设备制造[5] - 北芯生命2024年营业收入3.17亿元 较2022年9245万元大幅增长 是国内首家拥有血管内功能学FFR及影像学IVUS产品组合的国产企业[11] - 大普微近三年亏损持续收窄 从事数据中心企业级固态硬盘研发销售 拥有自主主控芯片技术[11] 研发投入与技术壁垒 - 钶锐锶近三年累计研发费用6153.44万元 取得247项专利和79项软件著作权 专注高端数控机床技术[8] - 大普微研发投入占累计营业收入比例36.15% 北芯生命该比例达65.5%[9] - 申请创业板与科创板的企业毛利率多在40%-60%区间 体现技术壁垒优势[9] 资本市场政策支持 - 科创板启用第五套上市标准 创业板启用第三套标准 支持未盈利创新企业上市[10] - 深圳培育"20+8"产业集群 半导体/人工智能/生物医药等新兴企业快速成长[11] - 资本市场改革促进科技、资本、产业良性循环 为创新企业创造发展机会[11]

中国证券业协会2025年第二批IPO企业现场检查名单 - 共有12家IPO企业被抽中现场检查，其中沪主板3家、深主板3家、科创板5家、创业板1家 [1] 被抽查企业基本信息汇总 - 12家企业2024年营收跨度从2.08亿元（芯密科技）至403.10亿元（惠科股份），净利润跨度从0.63亿元（芯密科技）至25.89亿元（惠科股份） [5] - 科创板企业占比最高（5家），涉及半导体设备、新材料等硬科技领域 [5] - 保荐机构中中信证券参与3家，中金公司参与2家，显示头部券商在IPO市场的优势地位 [5] 重点企业分析 长裕集团 - 主营锆类产品和特种尼龙，2024年营收16.37亿元，扣非净利润2.01亿元，研发投入占比稳定在3.3%左右 [6][8] - 实际控制人刘其永父子通过直接和间接方式控制53.2%股权 [7] - 2022-2024年加权平均净资产收益率从43.25%降至17.73%，显示盈利能力有所下降 [8] 易思维 - 专注汽车制造机器视觉设备，2024年营收3.92亿元，扣非净利润0.62亿元 [9][11] - 研发投入占比高达30.06%，显著高于行业平均水平 [12] - 实际控制人郭寅通过多层架构控制56.13%股权 [10] 恒运昌 - 半导体设备核心零部件供应商，2024年营收5.41亿元，三年复合增长率达85.3% [13][15] - 扣非净利润从2022年0.20亿元增至2024年1.31亿元，增速显著 [15] - 实际控制人乐卫平控制72.87%表决权，股权集中度高 [14] 惠科股份 - 显示面板行业龙头企业，2024年营收403.10亿元，扣非净利润25.89亿元 [54][56] - 员工规模达17,033人，拥有40家境内子公司和19家境外子公司 [54] - 实际控制人王智勇通过多层架构控制52.31%表决权 [55] 行业特征 - 半导体产业链企业表现突出，包括恒运昌（设备零部件）、芯密科技（密封件）等 [13][17] - 新材料领域企业普遍保持10%以上的研发投入，如未来材料（含氟功能膜）研发占比9.54% [40][43] - 汽车电子企业埃泰克2024年营收34.68亿元，显示汽车智能化趋势带动相关产业链增长 [21][24]

科创板半导体企业IPO动态 - "科创板八条"发布以来已有4家未盈利企业申报科创板IPO获得受理，其中6月13日至17日连续受理的4单IPO均为半导体行业企业[3][4] - 受理的4家企业中，兆芯集成和上海超硅为未盈利企业[3] - 证监会主席吴清表示将继续深化科创板改革，包括设置科创成长层、重启未盈利企业适用第五套标准上市等[6] 兆芯集成 - 主营业务为高端通用处理器及配套芯片的研发设计销售，是国内领先的x86架构CPU设计企业[9] - 2022-2024年营业收入分别为3.4亿元、5.55亿元、8.89亿元，归母净利润持续亏损[11] - 拟募集41.69亿元用于新一代服务器/桌面处理器等项目[12] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于30亿元且最近一年营业收入不低于3亿元[13] 芯密科技 - 主营业务为半导体级全氟醚橡胶密封件，打破外资垄断[18] - 2022-2024年营业收入快速增长，分别为4159万元、1.3亿元、2.08亿元，实现盈利[21] - 拟募集7.85亿元用于半导体级全氟醚橡胶密封件研发及产业化等项目[23] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于10亿元且最近两年净利润均为正[24] 上海超硅 - 主营业务为300mm和200mm半导体硅片研发生产销售[29] - 2022-2024年营业收入分别为9.21亿元、9.28亿元、13.27亿元，扣非归母净利润持续亏损[31] - 拟募集49.65亿元用于300毫米薄层硅外延片扩产等项目[35] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于50亿元且最近一年营业收入不低于5亿元[34] 恒运昌 - 主营业务为等离子体射频电源系统等核心零部件[40] - 2022-2024年营业收入分别为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元，净利润快速增长[42] - 拟募集15.5亿元用于半导体射频电源系统产业化等项目[46] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于10亿元且最近两年净利润均为正[44]

科创板半导体企业IPO概况 - 近期科创板连续受理四家半导体企业IPO申请，覆盖芯片设计、设备耗材、材料制造、设备核心部件四大环节，形成从"材料-设备-设计"的完整产业链布局 [1] - 四家企业分别为兆芯集成（CPU设计）、芯密科技（密封件）、上海超硅（硅片）、恒运昌（射频电源），代表半导体产业链关键环节的国产化突破 [1][10] 兆芯集成 - 业务领域：国内六大CPU厂商之一，专注x86架构CPU设计，覆盖桌面、服务器、工作站等领域，具备自主指令集拓展和内核微架构设计能力 [2] - IPO进展：6月17日获受理，拟募资41.69亿元用于新一代处理器研发及产能建设，保荐机构为国泰海通证券和东方证券 [2] - 财务情况：目前未盈利，预计2027年扭亏为盈，研发投入持续加码 [3] - 市场定位：国产CPU替代重要参与者，技术自主性强，但面临国际巨头竞争压力 [4] 芯密科技 - 业务领域：专注半导体级全氟醚橡胶密封件研发生产，产品应用于刻蚀、薄膜沉积等前道制程设备 [5] - IPO进展：6月16日获受理，拟募资7.85亿元用于密封件研发及产业化项目，保荐机构为国金证券 [6][7] - 财务表现：2022-2024年营收从4159万元增至2.08亿元，净利润从173万元增至6894万元，毛利率从39.9%提升至61.6%，客户集中度较高（前五大占比77%） [6] - 市场地位：国内半导体级全氟醚橡胶密封圈市占率第三、国内企业第一，毛利率显著高于行业平均水平 [6] 上海超硅 - 业务领域：半导体大硅片龙头企业，产品包括300mm和200mm硅片，应用于存储芯片、逻辑芯片，已量产先进制程所需硅片 [8] - IPO进展：6月13日获受理，拟募资49.65亿元用于300mm硅外延片扩产及高端材料研发，保荐机构为长江保荐 [8][9] - 财务情况：2022-2024年营收从9.21亿元增至13.27亿元，但持续亏损（2024年净亏损12.9亿元），主因300mm硅片产能利用率不足 [8] - 行业地位：全球半导体硅片市场份额1.6%，国内产能规模居前，与国际巨头（信越化学、SUMCO）仍有差距 [8] 恒运昌 - 业务领域：聚焦等离子体射频电源系统，产品支撑28nm至14nm先进制程，打破美企MKS和AE垄断 [10] - IPO进展：6月13日获受理，拟募资15.5亿元用于射频电源产业化及研发中心建设 [10] - 财务表现：2022-2024年营收从1.58亿元增至5.41亿元，净利润从2639万元增至1.43亿元，2023年国产等离子体射频电源市占率第一 [10] - 客户资源：拓荆科技、中微公司、北方华创等头部设备商的战略供应商，产品覆盖薄膜沉积、刻蚀等关键环节 [10] 行业意义 - 四家企业分别代表芯片设计（兆芯集成）、设备耗材（芯密科技）、材料制造（上海超硅）、设备核心部件（恒运昌）的国产化突破 [10] - 科创板对未盈利企业的包容性为半导体企业提供融资通道，集中受理体现资本市场对半导体行业的重点支持及产业链自主化迫切需求 [10]

公司概况 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获受理 向A股市场发起冲击 [1] - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主营等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等产品的研发、生产、销售及技术服务 [1] - 公司围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 并引进真空获得和流体控制等相关核心零部件 [1] 股权结构 - 发行前乐卫平直接持有公司23.0866%股份表决权 并通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心间接控制25.8179%、20.7787%和3.1895%股份表决权 合计控制72.8727%股份表决权 [1] - 乐卫平长期担任公司董事长和总经理 [1] 融资与估值 - 公司最近一次市场化融资完成于2023年12月 投后估值为32.92亿元 [1] 财务表现 - 2024年公司实现营业收入5.41亿元 归属净利润1.43亿元 [1] - 亮丽业绩背后主要依赖大客户拓荆科技的支持 [1] 客户集中度 - 报告期内前五大客户合计营业收入占比分别为73.54%、80.39%及90.62% 客户集中度较高 [2] - 向拓荆科技销售收入分别为7153.8万元、18918.04万元及34142.26万元 占营业收入比重分别为45.23%、58.16%及63.13% [2] - 2023年及2024年向第一大客户拓荆科技的销售比例超过50% 且依赖度持续升温 [2]

IPO申请受理情况 - 广西百菲乳业股份有限公司、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、上海超硅半导体股份有限公司的IPO申请已获上交所受理 [1] - 百菲乳业拟在主板上市 注册地为广西 行业分类为食品制造业 保荐机构为国融证券 [2] - 恒运昌拟在科创板上市 注册地为广东 行业分类为专用设备制造业 保荐机构为中信证券 [2] - 上海超硅拟在科创板上市 注册地下滑 行业分类为计算机、通信和其他电子设备制造业 保荐机构为长江证券 [2] 百菲乳业业务概况 - 公司主要从事乳制品和含乳饮料的研发、生产与销售 [2] - 产品包括以生水牛乳、生牛乳为主要原料的灭菌乳、调制乳、发酵乳、巴氏杀菌乳和含乳饮料等 [2] 恒运昌业务概况 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 [3] - 主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等产品的研发、生产、销售及技术服务 [3] - 产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商 [3] - 截至2024年末 公司与主要客户已实现百万级收入的自研产品共30款 千万级收入的自研产品共19款 [3] 上海超硅业务概况 - 公司主要从事300 mm和200 mm半导体硅片的研发、生产、销售 [3] - 同时从事硅片再生以及硅棒后道加工等受托加工业务 [3] - 拥有设计产能70万片/月的300 mm半导体硅片生产线和40万片/月的200 mm半导体硅片生产线 [3] - 产品已量产应用于NAND Flash/DRAM(含HBM)/Nor Flash等存储芯片、逻辑芯片等先进制程芯片 [3]

公司IPO计划 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获受理，拟募资15.5亿元 [2] - 募资用途包括沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目等 [5] 公司业务与技术 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，专注于等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发生产 [2] - 等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，2023年中国大陆该领域国产化率不足7% [2] - 公司已推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到国际先进水平 [3] - 公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商 [3] 市场地位与竞争格局 - 2023年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模为58.4亿元 [4] - 市场目前由海外巨头MKS和AE高度垄断 [4] - 公司2023年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一 [4] 财务表现 - 2022年至2024年，公司分别实现营收1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元 [5] - 同期净利润分别为2638.97万元、8053.58万元和1.43亿元 [5] - 截至2024年末，公司已实现百万级收入的自研产品共30款，千万级收入的自研产品共19款 [3]

IPO受理概况 - 6月13-14日沪深北交易所共受理8家IPO企业，其中科创板2家（上海超硅、恒运昌）、主板1家（百菲乳业）、创业板1家（江松科技）、北交所4家（恒道科技等）[1] - 2025年累计受理41家IPO项目，上交所10家、北交所25家、深交所6家[1] 无锡江松科技（创业板） - **主营业务**：光伏电池智能自动化设备龙头，产品覆盖扩散退火/PECVD/湿法制程等工序设备，提供全流程解决方案[3] - **股权结构**：实控人左桂松直接持股71.28%，与一致行动人合计控制72.19%表决权[4] - **财务表现**：2024年营收20.19亿元（YoY +63.2%），扣非净利润1.87亿元（YoY +45.9%），研发投入占比从5.83%降至2.86%[5][6][7] - **客户集中度**：前五大客户收入占比稳定在55-60%，晶澳科技（18.41%）和隆星绿能（16.26%）为2024年前两大客户[9][10] - **募投项目**：拟募资10.53亿元投向光伏智能装备生产基地（2.78亿元）、研发中心（2.92亿元）等4个项目[12][13] 上海超硅（科创板） - **主营业务**：300mm/200mm半导体硅片厂商，设计产能合计110万片/月，产品应用于NAND Flash/DRAM/HBM等存储芯片[15] - **财务表现**：2024年营收13.27亿元（YoY +43.1%），但扣非净利润连续三年亏损且扩大至-13亿元，研发投入占比18.55%[18][19] - **上市标准**：采用表决权差异安排标准，预计市值超50亿元且最近一年营收超5亿元[20] - **客户集中度**：前五大客户收入占比从56.04%升至63.66%[21] - **募投项目**：拟募资49.65亿元用于300mm外延片扩产（29.65亿元）及高端硅材料研发[22][23] 恒运昌（科创板） - **主营业务**：等离子体射频电源系统供应商，拓荆科技为第一大客户（2024年收入占比63.13%）[25][31][32] - **财务表现**：2024年营收5.41亿元（YoY +66.3%），扣非净利润1.31亿元（YoY +88.6%），研发投入占比10.22%[27][28][29] - **募投项目**：拟募资15.5亿元投向半导体射频电源产业化（6.9亿元）及智能化生产基地[33][34] 百菲乳业（沪主板） - **主营业务**：水牛乳制品生产商，产品包括灭菌乳/调制乳等，京东自营（9.16%）和天猫超市（6.10%）为2024年前两大客户[36][42][44] - **财务表现**：2024年营收14.23亿元（YoY +32.3%），扣非净利润3亿元（YoY +31.9%），但研发投入仅0.58%[39][40] - **募投项目**：拟募资4.97亿元用于奶水牛智慧牧场建设[45] 北交所四家企业核心数据 1. **恒道科技**：热流道系统厂商，2024年营收2.34亿元（YoY +39.2%），比亚迪为第一大客户（9.01%），拟募资4.03亿元[47][53][57] 2. **尚研科技**：电子智能控制器厂商，海尔贡献66.66%收入，2024年营收5.88亿元，拟募资4.01亿元[59][65][68] 3. **邦泽创科**：办公电器ODM商，亚马逊/Walmart合计占20.03%收入，2024年营收15.1亿元（YoY +29.2%），拟募资4亿元[70][76][79] 4. **英氏控股**：婴幼儿辅食龙头，2024年营收19.74亿元（YoY +12.3%），毛利率57.46%，京东贡献14.82%收入，拟募资3.34亿元[81][86][88]