国产等离子体射频电源系统供应商深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称"恒运昌"）冲刺科创板IPO事宜有进展。10月17日，该公司已回复其科创板上 市申请审核问询函，并更新招股书中财务数据等重要内容。 更新后的招股书显示，2025年上半年，恒运昌调整了其占营收比重超六成的第一大客户、持股超3%的拓荆科技（688072.SH）的信用政策，将其从维持多年 的30天延长至60天。 对于这个现象，智通财经记者采访了行业多位人士，大家观点不一。 不容忽视的是，今年上半年，随着大客户拓荆科技的账期拉长，恒运昌的应收账款大幅上涨，应收账款周转率下滑，公司的资金压力有所提升。 恒运昌半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年开始批量交付。到2024年，恒运昌的自研产品收入占比超过80%。 不过，恒运昌的竞争对手正在增加。英杰电气（300820.SZ）、北方华创微电子等公司加紧布局射频电源业务。 智通财经了解到，英杰电气重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术，部分型号射频电源已实现量产，覆盖5nm刻 蚀及PECVD等先进制程，已成为中微公司（688012.SH）供应 ...

上市进程与监管关注 - 公司于今年6月开启科创板上市进程 但7月被列入2025年第二批首发企业现场检查抽查名单 [1] - 被现场检查抽中的企业 历史上撤回IPO申请的比例超过70% 为上市之路带来挑战 [3] - 公司已提交审核问询函回复报告 但部分无法解决的问题引发市场关注 可能影响上市进程 [1] 技术实力与行业地位 - 公司核心产品为等离子体射频电源系统 打破了美国巨头MKS和AE长达数十年的垄断格局 [2] - 自主研发的第二代Bestda系列支持28纳米制程 最新一代Aspen系列可支持7至14纳米先进制程 填补国内空白 [2] - 2024年中国大陆半导体领域该产品的国产化率不足12% 属于被卡脖子严重环节 [2] - 技术滞后体现在产品迭代落后一代 阻抗匹配响应速度在100ms级别 而国际巨头已达微秒级 [2] 财务表现与客户集中度 - 2022年至2024年 营业收入复合增长率达84.91% 扣非归母净利润复合增长率高达156.72% [4] - 对第一大客户拓荆科技的销售收入占比在2024年达到63.13% 且该客户同时持有公司股份 [4] - 毛利率从2022年的41.65%上升至2024年的48.71% 甚至反超行业巨头MKS同期毛利率 [4] - 2024年发生退货金额2935.31万元 公司对退货形成的存货已计提1021.65万元 [5][6] 募投项目与资金状况 - 本次IPO计划募资15.5亿元 其中2.5亿元用于补充流动资金 [7] - 2024年末公司货币资金余额高达4.27亿元 且无短期或长期借款 引发补流必要性质疑 [7] - 计划投入1.2亿元用于营销及技术支持中心项目 但近三年销售费用合计未超2000万元 2024年底销售人员仅14人 [7] - 扩产项目投资额巨大 沈阳项目设备购置安装投资约8801.51万元 智能化生产基地设备投资1.6亿元 [8]

报告发布方：中金企信国际咨询 项目可行性报告&商业计划书专业权威编制服务机构（符合发改委印发项目可行性研究报告编制要求）-中金企信国际咨询：集13年项目编制服务经验为各 类项目立项、投融资、商业合作、贷款、批地、并购&合作、投资决策、产业规划、境外投资、战略规划、风险评估等提供项目可行性报告&商业计划书编 制、设计、规划、咨询等一站式解决方案。助力项目实施落地、提升项目单位申报项目的通过效率。 等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等设备实现核心工艺功能的关键零部件，可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、 精密光学、等离子体清洗等领域，是推动工艺和技术进步的重要载体。 等离子体射频电源系统产业链分析 （1）等离子体射频电源系统是半导体设备的电气类核心零部件：零部件是半导体设备制造的基石。半导体设备由数以万计的零部件组成，零部件的性能、 质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，制程升级很大程度依赖于精密零部件的技术突破。半导体设备上游零部件品类众多，按照功能分，可分为电 气类、机械类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类和其他。其中，等离子体射频电源系统是半导体制造中 ...

行业概述 - 等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统 主要由等离子体射频电源和匹配器组成 工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间 核心作用是通过产生高频电场在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离 创造并维持高活性、高能量的等离子体 并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺 [2] - 等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等 对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率 以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要 进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率 在半导体制造核心装备中占据着核心位置 [2] - 行业属于"半导体器件专用设备制造" 行业代码为"C3562" [5] 市场规模 - 2024年全球等离子体射频电源系统行业市场规模达55.0亿美元 同比增长10.22% [10] - 2024年中国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元 同比增长9.50% [1][10] - 未来随着半导体制程的不断演进 薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺复杂度与精细度不断提升 对等离子体射频电源系统技术指标要求越来越高 形成新的技术升级驱动力 [10] 行业壁垒 - 半导体设备核心零部件行业技术壁垒很高 等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件 技术要求极高 [3] - 半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程 且在设备定型后不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统 [3] - 半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商 [3] 政策环境 - 我国高度重视半导体等核心产业发展 相继出台《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》《产业结构调整指导目录（2024年本）》《关于加快数字经济高质量发展的意见》等一系列政策 大力推动等离子体射频电源系统行业进步 [5] 产业链分析 - 行业上游主要包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件供应商 功率模块等电气件供应商以及结构件等原材料供应商 [5] - 原材料成本占比最大 超70% [7] - 行业下游应用市场涵盖半导体、光伏、显示面板等诸多领域 其中半导体为最大需求市场 占比超50% [5][8] 下游需求 - 2023年我国半导体设备市场规模达366亿美元 占全球半导体设备市场整体规模的34.56% [8] - 2024年我国半导体设备市场规模有望突破450亿美元 市场占比有望突破40% [8] - 等离子体射频电源系统作为半导体设备的电气类核心零部件 随着半导体设备市场的持续繁荣将迎来更广阔的发展空间 [8] 竞争格局 - 等离子体射频电源系统市场呈现高度集中的竞争格局 主要由美国的MKS、AE等国际巨头主导 [11] - 国产化率较低 是我国半导体设备零部件国产化最难关卡之一 [11] - 国内企业加速追赶 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业 其产品能支撑14纳米先进制程 [11] 代表企业 - 四川英杰电气股份有限公司重点攻关半导体刻蚀、薄膜沉积（CVD/PECVD）、离子注入等关键制程电源技术 部分型号射频电源已实现量产 覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程 2024年营业总收入达17.80亿元 毛利润6.86亿元 毛利率为3.85% [13] - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵 自研产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等 [13] 发展趋势 - 国内半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫 对国产等离子体射频电源系统导入意愿空前强烈 [15] - 国产供应商已经取得了技术沉淀和产品迭代的成果 并且逐步通过了半导体设备商和晶圆厂的产品与技术验证 [15] - 未来伴随中国大陆半导体市场的快速发展以及国产替代的整体趋势 国产等离子体射频电源系统的市场份额会持续扩大 [15]

深圳IPO排队企业概况 - 16家深圳企业正在排队冲刺A股IPO 其中15家进入问询阶段 北芯生命已提交注册 [1][2] - 按交易所分布：深交所主板2家 创业板4家 上交所科创板3家 北交所7家 [2] - 企业均属战略性新兴产业 涵盖半导体显示、医疗器械、数控机床、半导体设备、数据存储等领域 [2][4][6][7] 重点企业财务与业务数据 - 惠科股份总资产超1000亿元 2024年营业收入403.1亿元 归母净利润33.39亿元 85英寸LCD电视面板出货面积全球第一 [2] - 恒运昌2022-2024年营业收入复合增长率84.91% 扣非归母净利润复合增长率156.72% 主营半导体等离子体射频电源系统 [4] - 北芯生命2024年营业收入达3.17亿元（2022年为9245万元） 是国内首家拥有血管内FFR及IVUS产品组合的国产企业 [7] - 大普微近三年研发投入占累计营业收入比例达36.15% 从事企业级固态硬盘研发销售 拥有自主主控芯片技术 [6][7] 研发投入与技术优势 - 钶锐锶近三年累计研发费用6153.44万元 持有247项专利及79项软件著作权 采用全直驱数控技术路线 [6][8] - 北芯生命研发投入占营业收入比例高达65.5% [6] - 申请创业板与科创板的企业毛利率普遍达40%-60% 通过技术壁垒构建竞争护城河 [6] 资本市场改革与企业融资需求 - 科创板启用第五套上市标准（未盈利企业） 创业板启用第三套标准 支持优质未盈利创新企业上市 [7] - 企业IPO募资主要用于研发投入、产线布局、产能扩充及海外市场拓展 [2][4] - 深圳现有425家A股上市公司中 科创板与创业板企业占比超50% 位居全国第一 [5]

深圳企业IPO概况 - 截至8月15日共有16家深圳企业排队冲刺A股IPO 若上市有望加速产业发展[3] - 15家企业已进入问询阶段 北芯生命提交注册 接近上市[4] - 企业均属战略性新兴产业 通过IPO融资扩充产能或拓展海外市场[4][6] 目标资本市场分布 - 6家企业拟冲刺深交所IPO 其中主板2家 创业板4家[4] - 3家企业拟冲刺上交所科创板 7家企业选择北交所[4] - 资本市场改革增强对高科技企业吸引力 打通不同成长阶段企业融资渠道[4] 重点企业财务与业务特征 - 惠科股份总资产超1000亿元 2024年营业收入403.1亿元 归母净利润33.39亿元 85英寸LCD电视面板出货面积全球第一[4] - 恒运昌2022-2024年营业收入复合增长率84.91% 扣非归母净利润复合增长率156.72% 主营半导体设备制造[5] - 北芯生命2024年营业收入3.17亿元 较2022年9245万元大幅增长 是国内首家拥有血管内功能学FFR及影像学IVUS产品组合的国产企业[11] - 大普微近三年亏损持续收窄 从事数据中心企业级固态硬盘研发销售 拥有自主主控芯片技术[11] 研发投入与技术壁垒 - 钶锐锶近三年累计研发费用6153.44万元 取得247项专利和79项软件著作权 专注高端数控机床技术[8] - 大普微研发投入占累计营业收入比例36.15% 北芯生命该比例达65.5%[9] - 申请创业板与科创板的企业毛利率多在40%-60%区间 体现技术壁垒优势[9] 资本市场政策支持 - 科创板启用第五套上市标准 创业板启用第三套标准 支持未盈利创新企业上市[10] - 深圳培育"20+8"产业集群 半导体/人工智能/生物医药等新兴企业快速成长[11] - 资本市场改革促进科技、资本、产业良性循环 为创新企业创造发展机会[11]

中国证券业协会2025年第二批IPO企业现场检查名单 - 共有12家IPO企业被抽中现场检查，其中沪主板3家、深主板3家、科创板5家、创业板1家 [1] 被抽查企业基本信息汇总 - 12家企业2024年营收跨度从2.08亿元（芯密科技）至403.10亿元（惠科股份），净利润跨度从0.63亿元（芯密科技）至25.89亿元（惠科股份） [5] - 科创板企业占比最高（5家），涉及半导体设备、新材料等硬科技领域 [5] - 保荐机构中中信证券参与3家，中金公司参与2家，显示头部券商在IPO市场的优势地位 [5] 重点企业分析 长裕集团 - 主营锆类产品和特种尼龙，2024年营收16.37亿元，扣非净利润2.01亿元，研发投入占比稳定在3.3%左右 [6][8] - 实际控制人刘其永父子通过直接和间接方式控制53.2%股权 [7] - 2022-2024年加权平均净资产收益率从43.25%降至17.73%，显示盈利能力有所下降 [8] 易思维 - 专注汽车制造机器视觉设备，2024年营收3.92亿元，扣非净利润0.62亿元 [9][11] - 研发投入占比高达30.06%，显著高于行业平均水平 [12] - 实际控制人郭寅通过多层架构控制56.13%股权 [10] 恒运昌 - 半导体设备核心零部件供应商，2024年营收5.41亿元，三年复合增长率达85.3% [13][15] - 扣非净利润从2022年0.20亿元增至2024年1.31亿元，增速显著 [15] - 实际控制人乐卫平控制72.87%表决权，股权集中度高 [14] 惠科股份 - 显示面板行业龙头企业，2024年营收403.10亿元，扣非净利润25.89亿元 [54][56] - 员工规模达17,033人，拥有40家境内子公司和19家境外子公司 [54] - 实际控制人王智勇通过多层架构控制52.31%表决权 [55] 行业特征 - 半导体产业链企业表现突出，包括恒运昌（设备零部件）、芯密科技（密封件）等 [13][17] - 新材料领域企业普遍保持10%以上的研发投入，如未来材料（含氟功能膜）研发占比9.54% [40][43] - 汽车电子企业埃泰克2024年营收34.68亿元，显示汽车智能化趋势带动相关产业链增长 [21][24]

科创板半导体企业IPO动态 - "科创板八条"发布以来已有4家未盈利企业申报科创板IPO获得受理，其中6月13日至17日连续受理的4单IPO均为半导体行业企业[3][4] - 受理的4家企业中，兆芯集成和上海超硅为未盈利企业[3] - 证监会主席吴清表示将继续深化科创板改革，包括设置科创成长层、重启未盈利企业适用第五套标准上市等[6] 兆芯集成 - 主营业务为高端通用处理器及配套芯片的研发设计销售，是国内领先的x86架构CPU设计企业[9] - 2022-2024年营业收入分别为3.4亿元、5.55亿元、8.89亿元，归母净利润持续亏损[11] - 拟募集41.69亿元用于新一代服务器/桌面处理器等项目[12] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于30亿元且最近一年营业收入不低于3亿元[13] 芯密科技 - 主营业务为半导体级全氟醚橡胶密封件，打破外资垄断[18] - 2022-2024年营业收入快速增长，分别为4159万元、1.3亿元、2.08亿元，实现盈利[21] - 拟募集7.85亿元用于半导体级全氟醚橡胶密封件研发及产业化等项目[23] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于10亿元且最近两年净利润均为正[24] 上海超硅 - 主营业务为300mm和200mm半导体硅片研发生产销售[29] - 2022-2024年营业收入分别为9.21亿元、9.28亿元、13.27亿元，扣非归母净利润持续亏损[31] - 拟募集49.65亿元用于300毫米薄层硅外延片扩产等项目[35] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于50亿元且最近一年营业收入不低于5亿元[34] 恒运昌 - 主营业务为等离子体射频电源系统等核心零部件[40] - 2022-2024年营业收入分别为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元，净利润快速增长[42] - 拟募集15.5亿元用于半导体射频电源系统产业化等项目[46] - 选择适用科创板上市标准：预计市值不低于10亿元且最近两年净利润均为正[44]

科创板半导体企业IPO概况 - 近期科创板连续受理四家半导体企业IPO申请，覆盖芯片设计、设备耗材、材料制造、设备核心部件四大环节，形成从"材料-设备-设计"的完整产业链布局 [1] - 四家企业分别为兆芯集成（CPU设计）、芯密科技（密封件）、上海超硅（硅片）、恒运昌（射频电源），代表半导体产业链关键环节的国产化突破 [1][10] 兆芯集成 - 业务领域：国内六大CPU厂商之一，专注x86架构CPU设计，覆盖桌面、服务器、工作站等领域，具备自主指令集拓展和内核微架构设计能力 [2] - IPO进展：6月17日获受理，拟募资41.69亿元用于新一代处理器研发及产能建设，保荐机构为国泰海通证券和东方证券 [2] - 财务情况：目前未盈利，预计2027年扭亏为盈，研发投入持续加码 [3] - 市场定位：国产CPU替代重要参与者，技术自主性强，但面临国际巨头竞争压力 [4] 芯密科技 - 业务领域：专注半导体级全氟醚橡胶密封件研发生产，产品应用于刻蚀、薄膜沉积等前道制程设备 [5] - IPO进展：6月16日获受理，拟募资7.85亿元用于密封件研发及产业化项目，保荐机构为国金证券 [6][7] - 财务表现：2022-2024年营收从4159万元增至2.08亿元，净利润从173万元增至6894万元，毛利率从39.9%提升至61.6%，客户集中度较高（前五大占比77%） [6] - 市场地位：国内半导体级全氟醚橡胶密封圈市占率第三、国内企业第一，毛利率显著高于行业平均水平 [6] 上海超硅 - 业务领域：半导体大硅片龙头企业，产品包括300mm和200mm硅片，应用于存储芯片、逻辑芯片，已量产先进制程所需硅片 [8] - IPO进展：6月13日获受理，拟募资49.65亿元用于300mm硅外延片扩产及高端材料研发，保荐机构为长江保荐 [8][9] - 财务情况：2022-2024年营收从9.21亿元增至13.27亿元，但持续亏损（2024年净亏损12.9亿元），主因300mm硅片产能利用率不足 [8] - 行业地位：全球半导体硅片市场份额1.6%，国内产能规模居前，与国际巨头（信越化学、SUMCO）仍有差距 [8] 恒运昌 - 业务领域：聚焦等离子体射频电源系统，产品支撑28nm至14nm先进制程，打破美企MKS和AE垄断 [10] - IPO进展：6月13日获受理，拟募资15.5亿元用于射频电源产业化及研发中心建设 [10] - 财务表现：2022-2024年营收从1.58亿元增至5.41亿元，净利润从2639万元增至1.43亿元，2023年国产等离子体射频电源市占率第一 [10] - 客户资源：拓荆科技、中微公司、北方华创等头部设备商的战略供应商，产品覆盖薄膜沉积、刻蚀等关键环节 [10] 行业意义 - 四家企业分别代表芯片设计（兆芯集成）、设备耗材（芯密科技）、材料制造（上海超硅）、设备核心部件（恒运昌）的国产化突破 [10] - 科创板对未盈利企业的包容性为半导体企业提供融资通道，集中受理体现资本市场对半导体行业的重点支持及产业链自主化迫切需求 [10]

公司概况 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获受理 向A股市场发起冲击 [1] - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主营等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等产品的研发、生产、销售及技术服务 [1] - 公司围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 并引进真空获得和流体控制等相关核心零部件 [1] 股权结构 - 发行前乐卫平直接持有公司23.0866%股份表决权 并通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心间接控制25.8179%、20.7787%和3.1895%股份表决权 合计控制72.8727%股份表决权 [1] - 乐卫平长期担任公司董事长和总经理 [1] 融资与估值 - 公司最近一次市场化融资完成于2023年12月 投后估值为32.92亿元 [1] 财务表现 - 2024年公司实现营业收入5.41亿元 归属净利润1.43亿元 [1] - 亮丽业绩背后主要依赖大客户拓荆科技的支持 [1] 客户集中度 - 报告期内前五大客户合计营业收入占比分别为73.54%、80.39%及90.62% 客户集中度较高 [2] - 向拓荆科技销售收入分别为7153.8万元、18918.04万元及34142.26万元 占营业收入比重分别为45.23%、58.16%及63.13% [2] - 2023年及2024年向第一大客户拓荆科技的销售比例超过50% 且依赖度持续升温 [2]