1γ制造工艺

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美光DRAM,终于用了EUV
半导体行业观察· 2025-02-26 09:07
美光1γ工艺DDR5芯片技术突破 - 公司推出采用1γ制造工艺的16Gb DDR5芯片,首次应用EUV光刻技术,该工艺属于第6代10nm级节点[1] - 新产品额定数据传输率达9200 MT/s,标准电压1.1V,相比前代1β工艺产品功耗降低20%,位密度提升30%[1] - 新技术结合EUV与多重图案化DUV技术,采用下一代高K金属栅极和全新后端电路设计[4] 产品性能与市场应用 - 芯片9200 MT/s速度超出当前DDR5规范最高等级,但兼容JEDEC标准,可为下一代CPU提供未来防护[2] - 产品适用于CUDIMM/CXL内存模块和发烧友DIMM,后者可能实现10,000 MT/s超频模块[2] - 已向笔记本/服务器厂商送样,预计2025年中期进入零售市场,将覆盖台式机/笔记本/服务器全产品线[2] 生产工艺与产能规划 - 1γ工艺是公司首个采用EUV的技术节点,相比竞争对手延迟数年但带来显著优势[3] - 目前在日本晶圆厂生产,2024年安装首台EUV设备,未来将在日本和台湾工厂增加更多EUV系统[4] - 该工艺将成为公司主力节点,后续将用于GDDR7、LPDDR5X(9600 MT/s)及数据中心产品[3] 技术细节与性能提升 - EUV应用于关键层替代多重图案化,缩短生产周期并提升良率[4] - 新技术使性能比1β提升15%,同时保持20%的功耗优势[4] - 成本优势将在产量达到1β水平时显现,预计制造成本同步降低[1]