FPD激光直写曝光设备FEM系列
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影速 FPD 激光直写曝光设备 FEM 系列:助力 “中国屏” 迈向全球高端制造
势银芯链· 2025-10-28 10:32
公司概况与核心业务 - 江苏影速集成电路装备股份有限公司成立于2014年,是国家专精特新小巨人及高新技术企业,累计专利超百项 [2] - 公司核心业务专注于解决我国电子产业链中设备制造环节的技术短板,尤其在PCB和半导体光刻设备领域取得显著成果 [2] - 其FPD激光直写曝光设备FEM系列是实现面板制造全流程贯通的“国之重器” [2] 核心产品FEM系列技术优势 - FEM系列设备凭借高精度、高效率的独特优势,能够实现微米级甚至纳米级的图形加工精度,大大提升了面板制造的质量和良品率 [2] - 设备高效的曝光速度有效缩短了生产周期,降低了生产成本 [2] - FEM系列全面覆盖G4至G10.5代线的全尺寸曝光技术 [4] - 自主激光直写技术分辨率达1μm,支持Micro LED等新型显示研发 [14] 核心产品应用场景与战略价值 - 在UV-Glass生产中,设备可在超薄玻璃上实现微米级线宽刻画,保障透光率与均匀性 [6] - 在金属掩膜版制造领域,高功率紫外激光配合动态聚焦,突破传统套刻精度限制,提升柔性OLED掩膜版良率,打破国外垄断 [6] - 在大尺寸通用掩膜板制造中,多场同步曝光技术将拼接误差控制在2μm内,支撑65-110英寸大尺寸面板量产 [6] - 设备集成自主算法与光源系统,在面板曝边打码时同步实现自定义编码打印,提升生产效率 [6] - 设备支持小批量、多品种快速切换,缩短面板企业研发周期 [6] 市场地位与行业影响 - 影速已与国内多家面板生产头部企业深度合作,市场认可度显著提升 [4] - FEM系列设备成功打破了国外设备的垄断,为我国面板制造产业发展赢得了主动权 [8] - 公司核心部件100%自主研发,摆脱进口依赖,保障供应链安全 [14] - 影速曝光机成功入选江苏省“两新”技术产品名录,标志着我国在面板制造关键设备领域取得重要突破 [7] 研发历程与未来展望 - 研发团队突破了技术资料匮乏、实验条件受限等挑战,使FEM系列设备在性能上与国际同类产品相媲美,且在价格和售后服务上更具优势 [8] - 公司以“成为全球一流微电子装备供应商”为愿景,专注于集成电路光刻设备及量检测设备的研发 [9] - 公司将深化与头部面板制造商的战略合作,推动中国微电子装备从“跟跑”向“并跑”“领跑”转变 [9] - 公司提供“设备+工艺”定制化方案,适配不同客户需求 [14]