财务表现 - 2025年上半年营业收入49.61亿元 同比增长43.88% [1] - 归母净利润7.06亿元 同比增长36.62% [1] - 研发投入14.92亿元 同比大幅增长53.7% 研发费用占营收比重突破30% [1] 核心产品业务 - 等离子体刻蚀设备销售收入37.81亿元 同比增长40.1% 占总收入75%以上 [1] - 薄膜沉积设备中LPCVD和ALD设备销售收入同比增长608.2% [1] - 钨系列产品全部通过关键存储客户端量产验证并获批量订单 [1] 技术研发进展 - 开发出应用于先进逻辑器件的金属栅系列产品包括ALD氮化钛/钛铝/氮化钽 [1] - 金属栅设备已完成多个先进逻辑客户验证 薄膜均一性及污染物控制达世界先进水平 [1] - 金属栅设备已付运至先进逻辑客户端进行验证 核准推进顺利 [1] 市场拓展 - MOCVD设备在氮化镓基LED市场持续领先 并拓展至碳化硅/氮化镓功率器件及Micro-LED领域 [2] - 首台红黄光LED专用MOCVD设备已付运至国内领先客户开展生产验证 [2]