联合研究丨行业深度 [Table_Title] AMHS：晶圆厂自动物料传送系统， 国产替代从 0 到 1 进入破局期 %% %% %% %% research.95579.com 1 丨证券研究报告丨 报告要点 [Table_Summary] AMHS 是晶圆厂自动化的"物流神经系统"，壁垒不在单机，而在整厂级软硬件稳定交付、高洁 净/低振动控制和调度算法。行业受晶圆厂扩产、12 英寸化、存量改造与国产替代驱动，需求具 备中长期持续性。全球格局由大福、村田主导，国产厂商正从单点设备验证迈向整厂交付突破。 投资主线看价值量提升、系统级国产替代和软件调度能力，重点跟踪大型 12 英寸验证、订单 放量与毛利率修复。关注海晨股份、弥费科技（申请科创板上市）和果纳半导体（申请港股上 市）等。 分析师及联系人 [Table_Author] 韩轶超 张弛 鲁斯嘉 SAC：S0490512020001 SAC：S0490520080022 SAC：S0490519060002 SFC：BQK468 SFC：BUT917 SFC：BWN875 胡俊文 SAC：S0490524120001 请阅读最后评级说明和重要声明 2 / ...