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Photronics Receives Outstanding Contribution Award from Visionox
Globenewswire· 2025-06-19 20:00
文章核心观点 - 光掩膜技术和解决方案全球领先企业Photronics获维信诺颁发的杰出贡献奖,体现其对客户卓越服务的承诺及在交付、质量和本地服务支持方面提供的经济价值和客户支持 [1][2] 公司信息 - 公司是全球领先的集成电路和平面显示光掩膜制造商,光掩膜是制造过程关键元素 [2] - 公司成立于1969年,作为值得信赖的光掩膜供应商已有超56年历史 [2] - 公司在亚洲、欧洲和北美设有11个战略性制造工厂 [2] - 公司官网为www.photronics.com [2] 联系方式 - 投资者关系副总裁Ted Moreau,电话469.395.8175,邮箱tmoreau@photronics.com [3]
Photronics (PLAB) FY Conference Transcript
2025-06-12 05:10
纪要涉及的公司 - 公司为Photronics(PLAB),在纳斯达克以股票代码PLAV进行交易 [1] 纪要提到的核心观点和论据 公司业务与市场情况 - 公司有两个业务单元,75%服务半导体行业(IC),25%针对显示市场(FPD);显示业务高端占比约85%,IC业务高端占比约38%,IC高端类别包括14、22和28纳米 [3][4] - 公司制造光掩模,在半导体制造过程中至关重要;接收芯片设计,蚀刻并打印到玻璃上制成光掩模,再将掩模组运回晶圆厂 [6][7] - 光掩模行业约占半导体市场的1 - 1.5%,市场分为商户市场和 captive市场,许多有内部光掩模开发能力的公司也会外包部分生产 [14] 公司发展历程与增长驱动因素 - 公司1969年成立,经历了约15 - 18年的初创期,1986年左右进入行业整合阶段,2003 - 2018年营收适度增长,近五年因进入台湾和中国的合资企业、新冠疫情导致的供需失衡等因素,营收加速增长,中国市场收入占比从2019年的3%增至2024年10月财年末的28%,毛利率从2020年的23 - 24%提升至2024年的37% [9][10][11][13] 市场竞争与战略布局 - 公司认为自身与前沿技术保持一定距离,地理布局是战略优势,在全球有11个洁净室设施,美国有3个,而商户市场主要竞争对手Topan在美国只有1个设施;随着台积电等公司在美国扩张,公司对美国市场机会感到乐观,预计未来几年外包市场份额将增加 [17][19][20][23] - 全球市场约65 - 70%由Photronics和Topan占据,中国市场有新进入者,由中国政府资助,但在高端节点竞争困难,公司预计未来三到五年内这些新进入者难以在技术曲线上取得显著进展 [28][29][31] 近期业务表现与展望 - 公司财年于10月结束,过去12 - 18个月营收略有停滞,受半导体行业低迷影响;最近一个季度毛利率为36.9%,运营费用通常约占营收的10%,运营利润率达20%多,现金流强劲;合资企业表现良好,是收入的重要来源 [32][33][34] - IC业务方面,节点迁移很重要;FPD业务推出了下一代moled显示技术,预计未来几年显示技术将得到改善;公司现金余额达5.58亿美元,其中57%与合资企业相关 [35][36] - 公司在资本配置上会更加谨慎和机会主义,未来将继续推动营收增长和盈利;由于关税不确定性,部分半导体芯片设计的发布暂时放缓,影响了第二季度的业绩指引 [37][39][41] 光掩模相关问题 - 客户外包光掩模生产是因为专注于技术创新,且公司在成本上有优势;光掩模在芯片设计改变时需要更换,磨损导致的退化在10万片晶圆后才会出现,而光掩模上的防护膜磨损较快,但仅占总营收的2 - 3% [43][45][46] 产能扩张与市场预期 - 公司美国的一个设施正在扩大产能,预计2026年初至年中投入生产,2026年末至2027年2月实现营收贡献;目前主要是与客户进行对话,尚未收到实际订单,但与台积电、三星等公司的对话进展良好,预计2027 - 2028年美国市场将成为公司增长最快的地区 [47][48][50] 毛利率影响因素 - 毛利率主要受营收 volume和折旧进度影响,7月毛利率预计从36.9%降至33%,主要原因是销售 volume下降;折旧进度也会影响毛利率,折旧期内毛利率较低,折旧完成后毛利率较高 [50][52][53] 定价与市场地位 - 公司与许多顶级客户签订了1 - 3年的长期销售协议,确保了价格稳定和市场份额;在技术上具有优势,能够生产高质量的光掩模,如G10、10.5规格的产品,其他公司难以匹敌;在显示市场,因竞争对手与BOE的合资企业导致客户流失,公司获得了大量市场份额;预计G8.6产品的平均销售价格将有显著提升,未来美国市场增长和显示市场将成为公司增长的驱动力 [56][57][59][60] 其他重要但是可能被忽略的内容 - 公司在7纳米有少量开发工作,但未用于制造生产 [6] - 公司运营费用通常约占营收的10%,能产生强劲的运营利润和现金流 [33][34] - 公司在第二季度花费7200万美元回购股票,目前回购授权还剩2300万美元,未来将更谨慎地进行股票回购 [37][38][39] - 公司可以通过调整生产地点绕过关税风险,但半导体芯片供应商因关税不确定性,暂时放缓了部分芯片设计的发布 [40][41] - 公司在折旧方面,高端工具折旧期为15年,主流工具为11年,目前处于设备更换周期的三分之二阶段,未来两年资本支出将较高 [51]
Photronics(PLAB) - 2025 Q2 - Earnings Call Transcript
2025-05-28 21:32
财务数据和关键指标变化 - 第二季度营收2.11亿美元,与预期相符,环比基本持平,同比下降3% [7][17] - 非GAAP摊薄每股收益为0.40美元,GAAP摊薄每股收益为0.15美元 [7][22] - 毛利率为37%,与过去三年季度平均水平一致,远高于历史水平 [21] - 运营利润率为26%,高于指引范围,环比提高180个基点 [22] - 第二季度运营现金流为3100万美元,占总收入的15% [23] - 资本支出为6100万美元,计划2025财年资本支出2亿美元,预计2026财年资本支出将从高位正常化 [23] - 季度末现金及短期投资总额为5.58亿美元 [24] - 预计第三季度营收在2亿 - 2.08亿美元之间,非GAAP每股收益在0.35 - 0.41美元之间,运营利润率在20% - 22%之间 [25] 各条业务线数据和关键指标变化 IC业务 - 营收1.56亿美元,同比下降3% [17] - 高端营收同比增长2%,占IC营收的38% [18] - 主流IC营收同比下降6%,其中服务最老一代设计节点的光掩模降幅最大 [18] - 按应用划分,内存应用营收因项目时间安排环比下降,逻辑方面,服务移动通信的光掩模组以及OLED驱动IC表现强劲,服务电力电子、汽车和工业应用的低端设计节点仍处于较弱的复苏状态 [18][19] FPD业务 - 营收5500万美元,同比下降2%,季度初营收较低,之后出现季节性需求提升 [20] - 移动应用和先进掩模技术的持续采用是优势领域 [20] 各个市场数据和关键指标变化 - 中国和台湾的IC合资企业营收领先,业务保持健康 [21] - 美国营收环比下降,原因是低端设计节点疲软以及客户先进节点项目的时间安排 [21] 公司战略和发展方向和行业竞争 - 美国2025年产能扩张计划瞄准芯片设计向高端节点迁移的机会,亚洲也有望从市场向高端节点过渡中受益 [7][8] - 公司是FD市场的技术领先大规模供应商,乐观认为先进光掩模技术将有助于在即将到来的G8.6 AMOLED时代获得市场份额 [9][10] - 公司运营11个洁净室生产设施,包括亚洲6个、美国3个和欧洲2个,全球布局是战略资产,有助于快速响应客户并促进合作,可利用半导体行业制造布局多元化的新业务机会 [10][11] - 公司可利用多元化的地理布局应对美国关税动态带来的全球宏观经济不确定性,通过在不同地理位置分配生产,为客户降低潜在关税成本 [13] - 公司将继续专注于高端和主流高端市场的产能和能力建设,应对主流市场需求疲软 [28] 管理层对经营环境和未来前景的评论 - 公司认为一些积极的节点过渡趋势来自服务不断增长的AI生态系统的IC [8] - 由于市场条件和关税不确定性,公司对近期需求环境持谨慎态度 [25] 其他重要信息 - 公司CEO Frank Lee决定退休,将继续管理亚洲业务直至退休,George Makrokastas被任命为新CEO [13][14] - 第三季度公司将参加TD Cowen TMT会议、D. A. Davidson消费者与技术会议、Three Part Advisors东海岸会议和Singular Research投资者会议 [5][6] 问答环节所有提问和回答 问题1: 主流业务的整体供需情况、对利润率的影响以及对今年资本支出计划的影响 - 主流市场仍然疲软,主要原因是许多老化晶圆厂客户的晶圆厂利用率很低,这与行业中电力、工业和消费领域的业务有关,公司将长期专注于高端和主流高端市场的产能和能力建设 [27][28] - 主流市场中,许多公司正在用新设备替换报废工具,全球主流光掩模网络增加了一定的产能,但并非供过于求,需求疲软和利用率低下导致供需平衡不利 [28] 问题2: 主流业务的疲软是否主要在亚洲,是否与新的光掩模公司有关,以及美国主流向高端主流迁移对资本支出计划的影响 - 主流业务的疲软并非局限于亚洲,欧洲也较为明显,主要是由于行业整体情况,而非亚洲新的光掩模公司所致,预计主流应用的供应过剩情况将持续到2026年后期 [31][32] - 美国的项目旨在实现主流向高端主流的迁移,这是公司战略目标之一,也是资本支出的重点 [33] 问题3: 同比盈利的最大影响因素是主流市场的定价还是其他因素 - 公司在关注产品组合,以减轻整体定价压力,同时通过与中国主要客户的长期协议保证订单和稳定定价 [34][35][37] 问题4: 新CEO的首要关注点 - 新CEO George Makrokastas将与Frank Lee合作,有序过渡,目前关注后台行政事务和治理,未来将兼顾成本控制和市场份额增长 [40][41] 问题5: 美国产能扩张与区域化努力的平衡 - 公司将评估美国的机会并适当部署资本,继续扩大美国产能,同时也会考虑报废工具和高端能力的资本支出 [48] 问题6: 营收接近指引中点且预计环比下降的原因以及提升需求的方法 - 客户因当前关税环境带来的不确定性而推迟订单,这是公司对今年剩余时间持谨慎态度的原因 [49] 问题7: 在盈利较弱的情况下回购7200万美元股票,是否会扩大回购计划 - 公司现有回购授权剩余2300万美元,将继续把握机会进行回购,是否扩大授权需与其他投资机会比较,以确保公司长期持续增长 [50]
Photronics(PLAB) - 2025 Q2 - Earnings Call Transcript
2025-05-28 21:30
财务数据和关键指标变化 - 第二季度营收2.11亿美元,与预期相符,环比基本持平,同比下降3% [7][16] - 非GAAP摊薄每股收益0.40美元,GAAP摊薄每股收益0.15美元 [7][20] - 毛利润率37%,与过去三年季度平均水平一致,高于历史水平;运营利润率26%,高于指引范围,环比提高180个基点 [19][20] - 第二季度运营现金流3100万美元,占总营收的15%;资本支出6100万美元,计划2025财年资本支出2亿美元,预计2026财年资本支出将从高位正常化 [21] - 季度末现金及短期投资总额5.58亿美元 [22] - 第三季度营收预计在2 - 2.08亿美元之间,非GAAP每股收益预计在0.35 - 0.41美元之间,运营利润率预计在20 - 22% [23] 各条业务线数据和关键指标变化 IC业务 - 营收1.56亿美元,同比下降3% [16] - 高端营收同比增长2%,占IC营收的38%;主流IC营收同比下降6%,其中服务最老一代设计节点的光掩模营收下降最大 [17] - 按应用划分,内存应用营收因项目时间安排环比下降;逻辑方面,服务移动通信的光掩模组以及OLED驱动IC表现强劲,服务电力电子、汽车和工业应用的低端设计节点仍处于较弱的复苏状态 [17][18] FPD业务 - 营收5500万美元,同比下降2%,季度初营收较低,之后出现季节性需求回升 [18] 各个市场数据和关键指标变化 - 地理上,中国和台湾的IC合资企业营收领先,美国营收因低端设计节点疲软和客户先进节点项目时间安排而环比下降 [19] 公司战略和发展方向和行业竞争 - 美国2025年产能扩张计划瞄准芯片设计向高端节点迁移的机会,亚洲也受益于市场向高端节点的过渡 [7][8] - 公司是FD市场的技术领先大规模供应商,乐观认为先进光掩模技术将有助于在即将到来的G8.6 AMOLED时代获得市场份额 [8][9] - 公司运营11个洁净室生产设施,包括亚洲6个、美国3个和欧洲2个,全球布局是战略资产,有助于利用新业务机会,应对美国关税动态带来的不确定性 [9][12] - 公司资本配置策略包括有机增长、战略投资和向股东返还现金,本季度花费7200万美元回购360万股,现有回购授权下还剩2300万股 [7][22] 管理层对经营环境和未来前景的评论 - 由于市场条件和关税不确定性,对近期需求环境保持谨慎 [23] - 主流市场仍然疲软,主要是因为许多老化晶圆厂客户的晶圆厂利用率很低,但高端芯片制造商、代工厂的区域化趋势为低端光掩模需求带来了积极机会 [25][37] 其他重要信息 - 首席执行官Frank Lee决定退休,将继续管理亚洲业务直至退休,董事长George Makrokostas被任命为新的首席执行官 [12][13] 问答环节所有提问和回答 问题1: 主流业务的整体供需情况、对利润率的影响以及对今年资本支出计划的影响 - 主流市场仍然疲软,主要是因为许多老化晶圆厂客户的晶圆厂利用率很低,行业在电力、工业和消费领域表现不佳 公司将继续专注于高端和主流高端的产能和能力建设 [25] - 许多公司正在用新设备替换报废工具,全球主流光掩模网络增加了一定产能,需求疲软和晶圆厂利用率低,加上产能增加,导致供需平衡不太有利,但这不是长期问题 [26][27] - 美国项目的战略目标之一是向主流高端应用进行节点迁移,公司认为这是美国市场的一个增长领域 [31] 问题2: 按年同比计算,在营收大致相同的情况下,对收益影响最大的是主流业务的利润率还是定价,是否还有其他因素 - 公司正在关注产品组合,以缓解整体定价压力,同时专注于主流高端和节点迁移 [32][33] - 公司与中国许多主要客户有多项长期协议,这些协议不仅保证了订单,还提供了稳定的定价 [35] 问题3: 新首席执行官的首要关注点是什么 - 目前主要关注后台行政事务和治理等方面,正在逐步接手Frank的职责,注重成本控制和通过扩大市场份额来增加收入 [39][40] 问题4: 美国产能扩张与平衡区域化努力的优先级 - 美国市场有台积电等客户的回流机会,公司将评估机会并适当配置资本,同时也需要对报废工具和高端能力进行资本支出 [46] 问题5: 在收益较弱的情况下回购股票,如何确定优先级,是否会扩大回购计划 - 现有回购授权下还剩2300万股,公司将继续把握机会进行回购 增加回购授权需要与其他投资机会进行比较,以确保公司的长期持续增长,公司会适时采取适当行动 [22][48]
Photronics(PLAB) - 2025 Q2 - Earnings Call Presentation
2025-05-28 19:20
业绩总结 - 2025财年第二季度收入为2.11亿美元,同比下降3%[38] - 2025财年第二季度运营利润率为26.4%,同比提升60个基点[38] - 2025财年第二季度非GAAP稀释每股收益为0.40美元,同比下降74%[38] - 2025财年第二季度运营现金流为3100万美元,同比下降59%[38] - 2025财年第三季度预计收入在2亿到2.08亿美元之间[43] 产品线表现 - 高端产品线收入为5930万美元,同比上升2%[40] - 主流产品线收入为9660万美元,同比下降6%[40] 资本支出与现金流 - 2025财年资本支出目标为2亿美元[44] - 2025财年第二季度资本支出为6050万美元,主要用于美国IC制造能力扩展[42] - 现金及短期投资为5.584亿美元,较去年同期下降0.3%[42] 净收入与每股收益 - 2025年5月4日的GAAP净收入为8861万美元,相较于2025年2月2日的42851万美元下降了79.3%[49] - 2025年5月4日的非GAAP净收入为24259万美元,较2025年2月2日的32383万美元下降了25.1%[49] - GAAP稀释每股收益在2025年5月4日为0.15美元,较2025年2月2日的0.68美元下降了78.8%[49] - 非GAAP稀释每股收益在2025年5月4日为0.40美元,较2025年2月2日的0.52美元下降了23.1%[49] 外汇损益 - 外汇(损益)在2025年5月4日为31111万美元,较2025年2月2日的(18443)万美元变化显著[49] - 外汇(损益)的估计税效应在2025年5月4日为(8337)万美元,较2025年2月2日的5152万美元变化显著[49] - 非控制性权益的估计效应在2025年5月4日为(7376)万美元,较2025年2月2日的2823万美元变化显著[49] 年度比较 - 2025年5月4日的GAAP净收入较2024年4月28日的36251万美元下降了75.5%[49] - 2025年5月4日的非GAAP净收入较2024年4月28日的28717万美元上升了84.3%[49]
Photronics Reports Second Quarter Fiscal 2025 Results and Announces CEO Transition
GlobeNewswire News Room· 2025-05-28 19:00
文章核心观点 - 公司公布2025财年第二季度财务结果,同时宣布CEO退休计划及管理层变动,还给出第三季度业绩指引 [1][4] 管理层变动 - 公司CEO Frank Lee计划未来一两年退休,即日起卸任CEO,继续负责亚洲业务,保留台湾子公司职位及董事会成员身份 [1] - George Macricostas接任CEO,同时保留董事会主席职位 [1] 第二季度业绩情况 整体业绩 - 营收2.11亿美元,同比降3%,环比降1% [8] - GAAP归属股东净利润890万美元,摊薄后每股收益0.15美元;非GAAP归属股东净利润2430万美元,摊薄后每股收益0.40美元 [8] 业务板块业绩 - IC业务营收1.559亿美元,同比降3%,环比升1% [8] - FPD业务营收5510万美元,同比降2%,环比降5% [8] 现金流情况 - 经营活动产生现金3150万美元,资本支出投入6050万美元用于有机增长,通过股票回购向股东返还现金7210万美元 [8] - 季度末现金、现金等价物和短期投资为5.584亿美元 [8] 第三季度业绩指引 - 预计营收在2亿至2.08亿美元之间,非GAAP归属股东净利润摊薄后每股收益在0.35至0.41美元之间 [4] 其他信息 - 公司将于2025年5月28日上午8:30举行网络直播讨论业绩,分析师和投资者可参与问答环节 [5] - 公司是全球领先的集成电路和平面显示器光掩模制造商,成立于1969年,在亚欧美有11个制造工厂 [6]
Photronics: AI-Driven Photomask Upside; Initiate Strong Buy
Seeking Alpha· 2025-05-21 16:55
公司覆盖启动 - 对Photronics Inc (NASDAQ: PLAB)启动覆盖 给予强烈买入评级 目标价32美元[1] - 公司主营业务为制造用于集成电路和平板显示器生产的光掩膜 业务覆盖美国 亚洲和欧洲[1] - 强烈买入评级基于高于市场共识的盈利预期[1] 研究方法论 - 采用结构化可重复框架 筛选具备持久商业模式 现金流潜力被低估及资本配置合理的公司[1] - 估值方法采用与行业相关的实用倍数 根据各公司商业模式和资本结构定制[1] - 研究重点覆盖经历结构性变化或暂时错配的被低估公司 通过冷静分析和差异认知获取不对称回报[1] 研究机构定位 - 提供买方质量级别的股权研究 追求清晰度 确信度和超额收益[1] - 结合严格基本面分析与高信号判断驱动流程 避免噪音叙事和过度复杂预测[1] - 致力于提升独立投资研究标准 提供专业级见解和可操作估值[1]
Photronics Announces Upcoming Investor Events
Globenewswire· 2025-05-08 04:00
文章核心观点 Photronics公司宣布参加多场即将举行的金融会议,并介绍了公司基本情况及提供联系方式 [1][2][3] 公司参会信息 - 5月29日周四参加TD Cowen的第53届年度科技、媒体与电信会议,地点纽约,展示时间为美国东部时间上午10:15 [1] - 6月10日周二参加D.A. Davidson的第1届年度科技与消费会议,地点纳什维尔 [1] - 6月11日周三参加Three Part Advisors东海岸IDEAS会议,地点纽约 [1] - 6月18日周三参加Singular Research投资者会议,地点纽约 [1] 公司基本情况 - 是全球领先的集成电路和平面显示器光掩膜制造商,光掩膜是制造过程的关键元素 [2] - 1969年成立,作为值得信赖的光掩膜供应商已有超55年历史 [2] - 在亚洲、欧洲和北美设有11个战略性制造工厂 [2] - 可通过www.photronics.com获取公司更多信息 [2] 联系方式 - 投资者关系副总裁Ted Moreau,电话469.395.8175,邮箱tmoreau@photronics.com [3]
Buy the Dip: Top Tech Stocks Analysts Say Are Undervalued
MarketBeat· 2025-05-03 19:34
科技行业现状 - 科技行业年初表现不佳 受关税 中美贸易紧张影响 稀土金属供应受阻 基准Technology Select Sector SPDR Fund年内下跌10% 同期标普500仅下跌5% [1] - 尽管市场转向防御性资产 如公用事业股和黄金ETF 科技板块仍存在投资机会 [3] 投资机会分析 - 价值型科技公司受关注 股价大幅下跌后估值更具吸引力 需评估基本面是否扎实及反转潜力 [4] - 华尔街分析师推荐兼具价值和分析师看好的科技公司 [5] Hut 8 Corp - 主营加密货币挖矿和AI应用 年内股价下跌44% 新成立子公司American Bitcoin Corp与特朗普家族合作 [6] - 当前市销率1.89 市净率2.24 空头头寸近月增加10% 空头比例低于14% [7] - 13位分析师均给予买入评级 目标价较现价高125% 4月获四家机构上调评级 [8] Photronics Inc - 生产集成电路光罩 年内股价下跌24% 受半导体行业关税冲击 但产品对客户仍至关重要 [9] - 市盈率接近历史低位 前瞻市盈率7.94 分析师预计股价有82%上涨空间 给予买入评级 [10] Gilat Satellite Networks - 卫星宽带通信技术公司 年内股价逆势上涨4% 市销率1.18显示可能被低估 [11] - 收购Stellar Blu后 在电子转向天线(ESA)领域取得优势 国防业务推动收入增长预期 [12] - Needham & Co和William Blair给予买入评级 目标价较现价高30% [13]
【电子】AI和晶圆厂扩建驱动半导体材料市场回暖,高端材料国产化进程加速——半导体材料系列报告之二(刘凯/黄筱茜)
光大证券研究· 2025-03-13 17:05
半导体材料市场概况 - AI产业驱动、存储芯片补货、晶圆厂扩建推动2024年半导体市场规模增长 [3] - 中国大陆半导体材料市场规模从2019年593亿元增长至2023年979亿元 2024年预计达1011亿元 [3] - 半导体材料分为晶圆制造材料和封装材料 是半导体制造工艺的核心基础 [3] 硅片行业 - 12英寸硅片为主流趋势 8英寸硅片在功率器件、电源管理器等领域仍有显著优势 [4] - 12英寸硅片应用于逻辑芯片、存储芯片等高端领域 8英寸硅片用于功率器件、MEMS等 [4] - 库存去化接近尾声叠加终端需求驱动 行业有望逐步复苏 [4] 电子特气 - 电子特气覆盖半导体制程多个环节 全球市场由欧美日企业主导 [5] - 2020年中国电子特气国产化率仅14% 集成电路用特气仅能生产20%品种 市场份额12% [5] - 预计2025年国产化率提升至25% [5] 掩膜版 - 掩膜版是微电子制造关键材料 用于平板显示、半导体等行业 [6] - 独立第三方半导体掩膜版市场海外公司占比较高 国内厂商逐步突破技术难度 [6] 光刻胶 - 光刻胶是光刻工艺核心耗材 性能决定光刻质量 [7] - 中国G/I线光刻胶部分国产替代 KrF/ArF/EUV光刻胶主要依赖进口 [7] 湿电子化学品 - 技术门槛高、资金投入大、产品更新换代快 [8] - 晶圆厂产能增加带动湿电子化学品需求增长 [8] CMP材料 - CMP是集成电路制造核心技术 抛光液和抛光垫占耗材市场80%以上 [9] - 前道加工和后道封装均需多次使用CMP技术 [9] 靶材 - 半导体靶材具有多品种、高门槛、定制化特点 对金属纯度要求严苛 [10] - 成熟制程(28nm及以上)主要用铝靶和钛靶 先进制程(28nm以下)以铜靶与钽靶为主 [10]