募集资金情况 - 2020年12月23日公司非公开发行47,749,661股，发行价28.79元/股，实际募集资金总额13.7471274019亿元，扣除费用后净额13.5452807070亿元[12] - 截至2025年12月31日，以前年度已使用金额13.5416551387亿元，本年度使用金额2.14778091亿元，暂时补充流动资金8000万元，银行手续费支出及汇兑损益434.80元，募集资金利息收入1879.00元，归还暂时补流金额2.935亿元，报告期期末募集资金余额270,579.52元[14][15] - 2025年度投入募集资金总额为2.147781亿元，累计投入12.807501亿元[33] - 募集资金净额为135571.27万元[36] - 剩余募集资金永久补流金额为8846.65万元[37] 项目变更情况 - 2023年12月25日公司将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”[19] - 2022年4月12日公司将“光电子材料及器件制造基地建设项目”实施主体变更为天津波汇，科谱半导体后续于2022年12月完成出售[20] - 变更用途的募集资金总额为3.620288亿元，占比26.70%[33] 项目投入及效益情况 - 半导体湿法清洗设备扩产项目累计投入1.985984亿元，投入进度100%[33] - 半导体晶圆再生二期项目累计投入0.229321亿元，投入进度100%[33] - 单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目累计投入2.853342亿元，投入进度78.82%[33] - 光电子材料及器件制造基地建设项目累计投入2.808088亿元，投入进度100%，实现效益590.93万元[33][34] - 补充流动资金或偿还债务累计投入4.046101亿元，投入进度99.66%[34] 项目节余及进度问题 - “半导体湿法清洗设备扩产项目”节余5746.98万元，因采购成本控制，“设备购置及安装”节约超20%[34] - “光电子材料及器件制造基地建设项目”产生节余募集资金3095.77万元[35] - “半导体湿法清洗设备扩产项目”已建设完毕，但因国际贸易摩擦等因素，新签订单及设备交付进度不达预期，总体收入及利润未达预期[36] 临时补流情况 - 2024年10月29日临时补充流动资金2.9亿元，计划2025年10月28日归还；2025年10月30日临时补充8000万元，12月16日已归还350万元[24] 项目预定情况 - “单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”拟投入募集资金总额36202.88万元，截至期末计划累计投资金额36202.88万元[39] - “单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”本年度实际投入金额21477.81万元，实际累计投入金额28533.42万元，投资进度78.82%[39] - “单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”预定可使用状态日期为2026年11月[39]

公司代码：603690 公司简称：至纯科技 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2025年度内部控制评价报告 上海至纯洁净系统科技股份有限公司全体股东： 根据《企业内部控制基本规范》及其配套指引的规定和其他内部控制监管要求（以下简称企业内部 控制规范体系），结合本公司（以下简称公司）内部控制制度和评价办法，在内部控制日常监督和专项 监督的基础上，我们对公司2025年12月31日（内部控制评价报告基准日）的内部控制有效性进行了评价。 一. 重要声明 按照企业内部控制规范体系的规定，建立健全和有效实施内部控制，评价其有效性，并如实披露内 部控制评价报告是公司董事会的责任。经理层负责组织领导企业内部控制的日常运行。公司董事会、董 事、高级管理人员保证本报告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对报告内容的真实 性、准确性和完整性承担个别及连带法律责任。 公司内部控制的目标是合理保证经营管理合法合规、资产安全、财务报告及相关信息真实完整，提 高经营效率和效果，促进实现发展战略。由于内部控制存在的固有局限性，故仅能为实现上述目标提供 合理保证。此外，由于情况的变化可能导致内部控制变得不恰当，或对控制政策和程序遵 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司2026 年第一季度报告 证券代码：603690 证券简称：至纯科技 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2026 年第一季度报告 (一)主要会计数据和财务指标 单位：元 币种：人民币 | | | | 本报告期比上年 | | --- | --- | --- | --- | | 项目 | 本报告期 | 上年同期 | 同期增减变动幅 | | | | | 度(%) | | 营业收入 | 620,674,466.14 | 727,679,340.12 | -14.70 | | 利润总额 | -81,192,956.89 | -11,003,450.66 | 不适用 | | 归属于上市公司股东的净 利润 | -78,853,142.03 | -23,696,476.81 | 不适用 | | 归属于上市公司股东的扣 除非经常性损益的净利润 | -84,429,944.25 | -32,464,966.05 | 不适用 | 1 / 13 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或 者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示 公司董事会及 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2026-015 重要内容提示： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）2025 年度拟 不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本或其他形式的分配。 本次利润分配预案尚需提交公司 2025 年年度股东会审议。 公司不触及《上海证券交易所股票上市规则》（以下简称《股票上市规 则》）第 9.8.1 条第一款第（八）项规定的可能被实施其他风险警示的情形。 一、利润分配预案内容 （一）利润分配预案的具体内容 经中汇会计师事务所（特殊普通合伙）审计，上海至纯洁净系统科技股份有 限公司（以下简称"公司"）2025 年度归属于上市公司股东的净利润为 -776,821,616.28 元，截至 2025 年 12 月 31 日，母公司累计未分配利润为 989,914,077.15 元。 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于 2025 年度拟不进行利润分配预案的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 鉴于公司 2025 年度归属于上市公司股东的净利润为负值，公司 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司2025 年年度报告 公司代码：603690 公司简称：至纯科技 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2025 年年度报告 1 / 331 上海至纯洁净系统科技股份有限公司2025 年年度报告 重要提示 一、本公司董事会及董事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在 虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。 二、公司全体董事出席董事会会议。 三、 中汇会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。 四、公司负责人蒋渊、主管会计工作负责人丁炯及会计机构负责人（会计主管人员）丁炯声明： 保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。 五、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案 否 八、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况 否 九、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性 否 2025年度拟不进行现金分红、送股、资本公积金转增股本。 截至报告期末，母公司存在未弥补亏损的相关情况及其对公司分红等事项的影响 □适用 √不适用 六、 前瞻性陈述的风险声明 √适用 □不适用 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2026-019 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一、交易情况概述 - 1 - （一）交易目的 随着公司业务的发展，日常经营过程中涉及部分外币业务，当汇率出现较大 波动时，汇兑损益对公司的经营业绩会带来一定的不确定性。为了降低汇率波动 对公司经营的影响，规避业务风险，使公司保持相对稳定的利润水平，并专注于 生产经营，公司拟开展外汇套期保值业务。 关于 2026 年度外汇套期保值业务计划的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 重要内容提示： 交易主要情况 | 交易目的 | □获取投资收益 | | | --- | --- | --- | | | ☑套期保值（合约类别：□商品；☑外汇；□其他：________） □其他：________ | | | 交易品种 | 远期、期权、掉期、期货等产品及上述产品的组合 | | | 交易金额 | 预计动用的交易保证金和权利金 上限（单位：万元） | 不适用 | | | 预计任一交易日持有的最高合约 价值（单位：万美元） | ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2026-020 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于 2026 年度"提质增效重回报"行动方案的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 为贯彻国务院《关于进一步提高上市公司质量的意见》，积极响应上海证券交 易所《关于开展沪市公司"提质增效重回报"专项行动的倡议》，推动公司高质量 发展，保护投资者尤其是中小投资者合法权益，上海至纯洁净系统科技股份有限 公司（以下简称"公司"）制定了 2026 年度"提质增效重回报"行动方案。具体 方案如下： 一、聚焦主业提质增效，加快发展新质生产力 公司业务目前 80%在半导体行业，从行业发展周期及战略角度出发，在下游 客户的建设投产期和运营量产期进行产品和业务布局。在建设投产期，为客户提 供制程设备、高纯工艺设备及系统。在稳定运营期，公司为客户提供电子材料、 零部件及专业服务。公司的核心业务紧紧围绕为晶圆厂提供从前期建设到稳定运 营阶段全生命周期的产品和服务。而公司围绕微污染控制技术、复杂工艺控制技 术、超高纯度流体控制技 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）聘请中汇会计师 事务所（特殊普通合伙）（以下简称"中汇会计师事务所"）作为公司 2025 年度 年报审计机构。根据财政部、国资委及证监会颁布的《国有企业、上市公司选聘 会计师事务所管理办法》，公司对中汇会计师事务所 2025 年审计过程中的履职情 况进行评估。经评估，公司认为中汇会计师事务所资质等方面合规有效，履职保 持独立性，勤勉尽责，公允表达意见，具体情况如下： 一、资质条件 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2025 年度对会计师事务所履职情况评估报告 最近一年（2025 年度）经审计的收入总额：100,457 万元 最近一年（2025 年度）审计业务收入：87,229 万元 中汇会计师事务所，于 2013 年 12 月转制为特殊普通合伙，管理总部设立于 杭州，系原具有证券、期货业务审计资格的会计师事务所之一，长期从事证券服 务业务，基本信息如下： 事务所名称：中汇会计师事务所（特殊普通合伙） 成立日期：2013 年 12 月 19 日 组织形式：特殊普通合伙 注册地址：杭州市上城区新业路 8 号华联时代大厦 A 幢 601 室 首席合伙人：高峰 上年 ...

上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2025 年度董事会工作报告 2025 年度公司董事会严格遵守《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国 证券法》《上海证券交易所股票上市规则》等法律法规和《公司章程》、各议事规 则等规定和要求，认真履行股东会赋予的职责，规范运作、科学决策，推动公司 各项业务顺利有序开展，使公司保持良好的发展态势，有效地保障了公司和全体 股东的利益。 现将公司董事会 2025 年度工作情况汇报如下： （一）聚焦主业，聚力前行 报告期内，公司持续聚焦集成电路核心主业，致力于为晶圆制造客户提供从 建设投产到稳定运营全生命周期的产品与服务组合。公司业务组合在数个头部客 户处已实现战略合作落地，能够为同一用户提供从系统到设备、从材料到服务的 整体解决方案，业务组合为用户 COC（Cost of Consumption）和 COO（Cost of Ownership）的降低作出了实质贡献。 在制程设备板块，公司旗下至微科技持续保持国内湿法清洗设备领域的领先 地位。报告期内，湿法设备在 28 纳米节点全部工艺机台的开发均已完成，且全 系列机台均已获得客户订单；在更先进制程节点，公司亦取得了部分高阶工艺设 ...

| 单位：万元 | | --- | 证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2026-018 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于 2025 年度计提信用减值、资产减值损失及核销 资产的公告 | 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗 | | --- | | 漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）第五届董事会第 十七次会议审议通过了《关于 2025 年度计提信用减值、资产减值损失及核销资 产的议案》，上述议案无需提交股东会审议。 根据《企业会计准则》及公司会计政策的相关规定，基于谨慎性原则，公司 对合并报表范围内可能发生减值迹象的各项资产进行了全面清查。 计提及核销的具体情况如下： | 项 目 | 2025 | 年度计提减值金额 2025 | 年核销金额 | | --- | --- | --- | --- | | 应收账款 | | 10,729.86 | 3477.60 | | 其他应收款 | | 8,545.80 | | | 应收票据 | | 33.69 | | | 长期应收款 | ...