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化学机械抛光工艺
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鼎龙股份,半导体材料再突破!
DT新材料· 2026-05-07 00:04
以下文章来源于DT芯材 ,作者DT芯材 DT芯材 . 聚焦AI服务器、AI芯片、AIPCB、光模块、先进封装与电子材料产业研究 【DT新材料】 获 悉,5月6日, 鼎龙股份 公告称,公司控股子公司— 武汉鼎泽新材料技 术有限公司 ,近期在 半导体CMP抛光液 领域接连取得三项重大进展,分别在 大 硅片精 抛液、氧化铈抛光液、先进封装用TSV抛光液 领 域实现产品突破并获得客户订单。 大硅片精抛液、氧化铈抛光液、先进封装用TSV抛光液领域在国内的市场规模合计超10亿 元, 目前国产化率极低 。公司本次实现多类抛光液产品突破,进一步补齐国内高端CMP 抛光液供给短板,更好响应国内多类核心客户端抛光液本土化供应需求。 CMP抛光液是由纳米级磨料(如二氧化硅、氧化铈、氧化铝)、氧化剂、络合剂、缓蚀剂 和去离子水等多种化学成分复配而成的复合胶体溶液, 是半导体制造中化学机械抛光工艺 的核心耗材 。 其技术壁垒极高,核心难点主要体现在 配方设计与优化难、 高 纯度要求、 稳定性控制、 纳米级磨料壁垒高、 验证周期长。 目前全球市场高度集中,以日本、美国企业为主导。 其中,以 卡博特(现属英特格) 、 日立(现属昭和电工) ...