公司上市进程 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司将于11月14日在科创板首发上会 [1] - 公司于今年6月13日申报科创板IPO 是经历现场检查后同批首家上会企业 [1] 核心业务与产品 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主要从事等离子体射频电源系统的研发、生产、销售 [1] - 业务包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等 并提供核心零部件整体解决方案 [2] - 等离子体射频电源系统在半导体制造中用于精确控制等离子体变化 实现薄膜沉积、图形刻蚀等关键工艺 [2] 产品技术与研发实力 - 第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程 第三代产品Aspen系列可支撑7至14纳米制程 达到国际先进水平并填补国内空白 [1][2] - 公司构建了3大基石技术及8大产品化支撑技术 拥有97项已授权发明专利 [5] 客户与市场地位 - 产品已实现量产交付 客户包括拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商 并配套中芯国际等晶圆厂 [3] - 公司是国内首家出货过亿元和首家实现支持先进制程的等离子体射频电源系统量产的国产厂商 [3] - 公司打破了海外巨头垄断 2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一 [4] 行业市场规模与竞争格局 - 2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元 [4] - 市场目前仍呈现海外巨头MKS和AE高度垄断的竞争格局 [4]

半导体石英产业链 - 12英寸半导体石英器件国产化率极低 认证是产业链最为关键的一环 [4] - 拓邦鸿基成功打破国外技术垄断 产品获国内多家晶圆厂和半导体设备厂认可 [4] - 公司成为中国大陆地区唯一通过KE集团供应商资格认证的本土企业 [2][4] 拓邦鸿基技术突破 - 公司产品在纯度 加工精度等关键指标上达到国际先进水平 [5] - 通过KE集团认证标志着中国企业在半导体核心零部件领域全球竞争力提升 [5] - 公司将进一步拓展全球市场份额 与国际半导体企业开展更多合作 [5] 公司业务与资质 - 主营业务为石英舟类 石英管道类 石英器件类高纯石英制品的研发生产和销售 [7] - 产品应用于半导体晶圆制造和光伏电池片制造多个工艺环节 [7] - 公司是国家专精特新小巨人企业 国家高新技术企业 辽宁省潜在独角兽企业 [7] 行业地位 - KE集团是全球十大半导体设备制造商之一 炉管式ALD技术行业领先 [5] - KE集团批量薄膜沉积设备和薄膜处理设备全球市场份额第一 市占率超过70% [5] - 半导体产业已成为衡量国家科技实力的重要标志 [5]