中证报中证网讯（记者 齐金钊）据上交所上市委公告，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简 称"恒运昌"）将于11月14日首发上会。恒运昌于今年6月13日申报科创板IPO，在此次首发上会前已经接 受了中国证券业协会组织的抽签现场检查，并回复了上交所的两轮问询，也是同批经历现场检查后首家 上会企业。招股书显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电 源系统的研发、生产、销售。其第三代等离子体射频电源系统可支撑7至14纳米制程，达到国际先进水 平，填补了国内空白。 产品技术达到国际先进水平 填补国内空白 招股书显示，恒运昌是国产等离子体射频电源系统行业龙头，是国内极少数实现半导体级等离子体 射频电源系统量产的企业，公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电 源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕 等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。 国内市场地位领先 与海外巨头同台竞争 在市场地位方面，恒运昌打破了多年来海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局，能 与海外巨头同台竞争，并不断扩大市场占有率。 根据弗若 ...