行业趋势与市场前景 - 半导体设备领域中的薄膜沉积设备在前道工艺中价值量占比高，约为22%，是晶圆扩产核心设备之一 [1] - 受新产线建设与既有产能扩充拉动，薄膜沉积设备需求有望持续增长，上行趋势明确 [1] - 全球300mm晶圆厂投资预计在2025年增长20%，达到1165亿美元 [1] 中国厂商动态与技术进展 - 中国厂商正加速布局，例如拓荆科技拟募资以提升PECVD等设备的产能 [1] - 微导纳米的ALD与高端CVD产品已切入国产存储头部客户量产线，在逻辑领域设备性能达到国际先进水平 [1] 相关金融产品与指数 - 科创芯片ETF国泰（589100）跟踪的是科创芯片指数（000685），该指数单日涨跌幅可达20% [1] - 科创芯片指数从科创板市场中选取涉及半导体材料、设备、设计与制造等全产业链环节的上市公司证券作为指数样本，聚焦芯片行业核心领域 [1] - 该指数精选50家代表性企业，集中反映科创板芯片产业链的整体表现 [1]