关键词：半导体流量计、半导体流量计市场规模、半导体流量计行业现状、半导体流量计发展趋势 一、行业概述 内容概况：半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。 随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量 计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。 相关上市企业：川仪股份（603100） 相关企业：广东奥迪威传感科技股份有限公司、北京志鸿恒拓科技有限公司、上海菱联自动化控制技术 有限公司、重庆川仪自动化股份有限公司、晶晨半导体（上海）股份有限公司、紫光国芯微电子股份有 限公司、中科寒武纪科技股份有限公司、海光信息技术股份有限公司、大洋电机新动力科技有限公司、 上海电驱动股份有限公司、北方华创科技集团股份有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、 拓荆科技股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司 半导体流量计是专为半导体制造设计的高精度流量测量与控制设备，用于监测和调节半导体工艺中液体 或气体的线性/非线性、质量/体积流量。其核心特点是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蚀、 ...

半导体流量计行业概述 - 半导体流量计在工业自动化和过程控制中具有重要地位，能够实时精确监控流体流动状态，保障生产流程稳定性和提升效率 [1] - 半导体流量计专为半导体行业高纯净度和高精度需求设计，可测量流体质量流量率并累积计算总质量，对原材料控制和生产成本核算意义重大 [1] - 半导体流量计（MFM）与质量流量控制器（MFC）的区别在于：MFC具备流量控制功能，而MFM专注于检测流量，可作为MFC的校验工具或参考设备 [1] 市场规模与增长 - 预计2031年全球半导体流量计市场规模将达到4.78亿美元，年复合增长率（CAGR）为9.26% [3] - 气体流量计是主要产品类型，预计2031年市场份额达77.9%，主要用于沉积、刻蚀、离子注入等工艺的气体流量监测 [9] 市场竞争格局 - 2024年全球半导体流量计市场前21强生产商中，第一梯队厂商HORIBA占据26.3%市场份额 [8] - 第二梯队包括Brooks Instrument、北京华丞电子、富士金、万机仪器等，合计市场份额38.22% [8] 应用领域分布 - 半导体流量计主要应用于立式炉/卧式炉/RTP设备、沉积设备、刻蚀设备等，其中立式炉/卧式炉/RTP设备应用最广泛，2024年份额约39.5% [12] - 立式炉/卧式炉/RTP设备领域的CAGR预计为4.46% [12] 主要厂商与产品类型 - 核心厂商包括HORIBA、Brooks Instrument、北京华丞电子、富士金、万机仪器等 [17] - 产品类型分为气体流量计和液体流量计，气体流量计占主导地位 [17] 地区分布与关注重点 - 重点关注地区包括北美、欧洲、中国、日本等 [17] - 报告统计指标涵盖产能、销量、销售收入、价格、市场份额等，侧重近三年主要厂商市场销售情况 [16]