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可自校准的SOI基MEMS三维力传感器
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凯尔达:公司控股子公司凯维力近期获得的可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺发明专利
证券日报网· 2025-09-26 19:41
公司技术突破 - 控股子公司凯维力近期获得可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺发明专利 [1] - 该专利是公司重要技术之传感器技术的体现和延伸 [1]